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上海华虹(集团)有限公司 “909”工程升级改造——华虹集团建设 12英寸 集成电路芯片生产线项目 环境影响报告书 (简本) 目 录 (一)建设项目情况简述; (二)建设项目对环境可能造成影响的概述; (三)预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点; (四)环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点; 上海环境热线 1 (一)建设项目情况简述 为建设具有国际先进工艺技术水平的生产线,迅速提升公司在市场竞争中的 有力地位,以有限的投资确保在竞争中取得最大的效益,华虹集团计划实施“909” 工程升级改造——建设 12 英寸集成电路芯片生产线项目,其建设目标是:总投 22 12 90 45 nm 资 亿美元,在上海市张江高科技园区内建设 英寸、 ~ 集成电路芯 35000 / 片生产线及配套辅助动力设施,形成 片 月的生产能力。 (二)建设项目对环境可能造成的影响概述 “ ” 集成电路芯片生产的工艺特点为: 高精技术,超洁净度 ,在生产过程中, 产生的污染物主要有废水、废气、噪声、固体废物和废液等,主要污染源有: 1 ()废水:包括生产废水和生活污水,其中: ① 生产废水,主要为含氟废水、含氨废水(主要污染物为氟化物、氨)、 含磷废水(主要污染物为磷酸盐)、有机废水(主要污染物为 COD )、酸碱废 水(主要污染物为酸、碱),经厂区废水处理站处理达标后排放。 ② COD SS 生活污水,主要有卫生间污水(主要污染物为 、 、氨氮等)经化 粪池处理、餐厅废水(主要污染物为 COD、SS、动植物油等)经隔油池处理后 排放。 生产废水和生活污水分别处理达到相应排放标准后汇入园区市政污水管网, 经白龙港污水处理厂处理后排入长江,对最终受纳水体长江无明显影响。 2 ()废气:主要包括生产工艺废气、燃气锅炉燃烧烟气二大类。 1、生产工艺废气 ① 酸性废气,主要污染物为氟化物、HCl 、H2SO4 雾、NOx 等; ② 碱性废气,主要污染物为氨; ③ 有机溶剂废气,主要污染物为非甲烷总烃、挥发性有机物 VOCS ; ④ 工艺尾气。 2 、锅炉烟气 / 本项目拟设置燃气 燃油热水锅炉,燃料采用天然气(备用燃料为轻质柴油)。 主要污染物为 NOx 、烟尘和 SO2 。 3 ()噪声:本项目生产设备均位于洁净厂房内,有较好的隔声作用。产生 2 上海环境热线

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