大气压冷炬转动温度和振动温度二维分布研究-深圳大学学报理工版.PDFVIP

Vol. 26 No.2 第26卷第2期 深圳大学学报理工版 2009 年4 月 JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY SCIENCE AND ENGINEERING Apr. 2009 文章编号: 1000-2618( 2009 ) 02- 0208-05 【应用物理】 大气压冷炬转动温度和振动温度二维分布研究 齐冰，黄建军，樊振，郑东 (深圳大学物理科学与技术学院，深圳 5 1 8060 ) 摘要:通过线阵式光纤光谱仪测量N2 +第一负带系 ( B2 ~ →X2 ~ ) 的 ( 0 ， 0) 带振转谱线和吨 的第 3 3 二正带系 ( C II B II ) 的顺序带组， 分别利用玻尔兹曼图 解法和斜率法， 得到等离 子体的转动温度以 u g • 及振动温度径向和轴向的二维空间分布.实验结果表明，转动温度和振动温度在空间的不同位置存在不同 的梯度和羊调关系.转动温度在径向中，这位置存在极大值，向两侧羊调递减，并沿轴向位置迅速衰减.振 动温度在径向中心位置存在极小值，向两侧羊调递增，并在轴向位置基本保持恒定. 关键词:等离子体;光谱诊断;冷等离子体射流;转动温度;振动温度 中图分类号: 0 539; 0 432. 1 + 1 文献标识码:A 在大气压条件下形成的等离子体是典型的非 常用的探针技术已不再适用，光谱学诊断方法则是 一种理想的选择.本文采用线阵式光纤光谱仪，以 平衡等离子体，电子温度高而离子温度低，且包含 大量活性粒子成分，化学活性强，可极大地降低一 Ar 和空气的混合气体作为工作气体， 同时采集空间 多个不同区域的发射光谱，这与以往的相关报 些化学反应所要求的苛刻条件，使之在常温常压下 道[ 7-1O J有所区别. 就能发生.与低气压非平衡等离子体相比，它不需 昂贵复杂的真空系统，可实现连续流水线作业，生 产效率高，适合从实验室研究成果向工业化生产转 1 实验装置 化.因此，大气压非平衡等离子体技术在纳米材料 制备、薄膜沉积、杀菌消毒、环境保护和材料表面 实验装置如图 1 .等离子体炬由内外两个电极 改性[ 1 -5 J等方面都有广阔的应用前景. 组成，内电极是一根直径为4 mm， 尖端带倒角的 不锈钢棒，外电极是一个内径为 1 0 mm 的接地金属 大气压冷等离子体炬是介质阻挡放电的一种， 采用同轴电极构型利用气流推动作用从喷口喷射 铜套.外电极的内表面覆盖着厚度为 1 mm 的石英 出来形成等离子体炬.由于等离子体炬产生的等离 玻璃管，充当介质层.内电极由高压正弦电源驱 子体处于非热力学平衡态，无法用一个统一的系统 动，电源频率在 1 20 kHz 连续可调， 峰值电压输 温度来表征而要从统计热力学的角度结合温度 出最大为20 kV. 电压信号和电流信号分别由高压 与粒子自由度用转动温度、振动温度、激发温 探头 ( Tektronix P6015A , 1000X) 和 电 流探头 度、电离温度、解离温度和辐射温度等分别表征. (