二元位相型光栅分束器的改进设计方法.pdfVIP

第11 卷 第6 期 光学精密工程 Voi. 11 No. 6 2003 年12 月 Optics and Precision Engineering Dec. 2003 文章编号 1004-924X（2003 ）06-0572-04 二元位相型光栅分束器的改进设计方法 1，2 3 1 1 1 1 鲁建业 ，马玉刚 ，申作春 ，董蕴华 ，高惠德 ，马祖光 （1. 哈尔滨工业大学 光电子技术研究所，黑龙江 哈尔滨 15000 1； 2 . 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033 ； 3. 吉林大学 物理学院，吉林 长春 130023 ） 摘要：为改进传统分束光栅的设计中不考虑光栅的实际周期长度、光栅深度、基底厚度等因素对各透射级次光波振幅的 影响，设计结果与实际制作光栅的分束效果相比差距较大的不足之处，基于矢量衍射理论，提出了光栅分束器的改进设 计方法。改进前后的主要不同之处在于计算透过率函数时是否考虑光栅实际参数对入射光的影响。由于比传统方法的 设计基础更严格，因而从与实验结果的对比情况看，改进方法提高了设计结果与实际情况的符合程度。 关 键 词：光栅分束器；矢量衍射理论；改进方法 中图分类号： O436. 1 文献标识码：A Improved design of splitters LU Jian-ye1，2 ，MA Yu-gang3 ，SHEN Zuo-chun1 ，DONG Yun-hua1 ，GAO Hui-de1 ，MA Zu-guang1 （1. Institute of Op toelectronics ，Harbin Institute of Technology ，Harbin 15000 1，China ； 2. The State Key Lab of App lied Op tics ，Institute of Op tics and Fine Mechanics ， Chinese Academy of Science ，Changchun 130033 ，China ； 3. Institute of Physics ，Jilin Uniuersity ，Changchun 130023 ，China ） Abstract ：An improved design of spiitters has been proposed using the vector diffraction theory to narrow the gap between the design and the spiitting effect due to the fact that the reai period iength ，grating depth and substrate depth are not considered in the traditionai spiitter design. The major difference between the tradition- ai design and the improved design iies in whether the