基于低温电流比较仪的微弱电流精密测量技术.PDFVIP

34 12 仪 器 仪 表 学 报 Vol. 34 No. 12 第 卷 第 期 2013 12 Chinese Journal of Scientific Instrument Dec． 2013 年 月 基于低温电流比较仪的微弱电流精密测量技术* 1，2 2 2 2 ， ， ， 鲁云峰 赵建亭 贺 青 张钟华 (1． 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院 哈尔滨 150001 ;2 ． 中国计量科学研究院 北京 100013) : dc-squid (dc-superconducting quantum interference devices) ， ， 摘 要 研制了基于 的低温电流比较仪 通过实验及分析 其电流分辨率 7． 1 fA / Hz1/ 2 ， 10 － 11 ， ， 1 k 为 比例误差小于 量级 将该低温电流比较仪应用于微弱电流精密测量 通过溯源到量子化霍尔电阻的 Ω标 ， ， 准电阻以及校准过的数字电压表对低温电流比较仪放大后的副边电流进行测量 进而构成微弱电流精密测量系统 实现微弱电流 ， (1 ～ 10)A ， 1 × 10 － 8 ， 1 × 10 － 9 ; 的精密测量 对于 μ 的电流测量 理论标准不确定度小于 最高可达到 利用该测量系统对目前商用最 ， ， nA 。 好的微电流源表进行初步测量 其灵敏度远远高于源的稳定性 完全满足目前 级以上微弱电流精密测量要求 : ;dc-SQUID ; ; ; 关键词 低温电流比较仪 量子化霍尔电阻 微弱电流测量 比例误差 中图分类号:TB97 1 文献标识码:A 国家标准学科分类代码:510 ． 1045 Low current precision measurement technique based on cryogenic current comparator 1，2 2 2 2 Lu Yunfeng ，Zhao Jianting ，He Qing ，Zhang Zhonghua (1． School of Electrical Engineering and Automation ，Harbin Institute of Technology ，Harbin 150001 ，China ; 2 National Institute of Metrology ，Beij ing 100013 ，China) Abstract :A cryogenic current comparator based on dc-