一种018lxmCMOS毫米波带通滤波器的设计-易迪拓培训.PDF

VOL 第41卷第3期 微电子学 41，No．3 2011 2011年6月 胧croelectronics JurL 一种0．18 CMOS毫米波带通滤波器的设计 lxm 吴国峰，孙玲玲，文进才，成东波 (杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室，杭州310018) 基于SMIC 摘要： 0．18“mRF-CMOS工艺，设计了一种采用垂直地平面共面波导(VGP CPW)传输线的片上30GHz带通滤波器。通过对传统CPW和VGPCPW两种不同结构传输线 的理论研究，对比分析了两者的损耗、特征阻抗及隔离特性，建立了VGPCPW长度可扩展的传输 线模型。使用特征阻抗为50Q的低损耗VGPCPW传输线结构，结合vGPCPW长度可扩展模 CPW传输线 型与EM分析方法，设计了30GHz带通滤波器。在片测试结果表明，该毫米波VGP 滤波器模型仿真和电磁场仿真S参数曲线与测试结果比较吻合，可为毫米波集成电路滤波器设计 提供借鉴。 关键词： 毫米波；CMOS；VGPCPW传输线；带通滤波器 中图分类号：TN432；TN713+．5 文献标识码：A of a0．18 CMOSMillimeterWaveBand-PassFilter Design pm WU Jincai，CHENG Guofeng，SUNLingling，WEN Dongbo (KeyLaboratory 310018，P．RChina) Abstract：An 30GHz filter vertical CPW)was on-chip band-passusing groundplanecoplanarwaveguide(VGP basedonSMIC0．18 CMOS CPWandVGPCPWwerestudied，theirlosses， designed tan process．Conventional transmissionlinemodelforVGP charaeteristieandisolation were scalable impedance propertiesanalyzed．Alength was whicha30GHz filter low-lossVGPCPWtransmission CPWestablished。with was bandpass designedusing linestructurewith50 fromon-wafermeasurementindicatedthat of Qcharacteristic impedance．Results S-parameter wasin w