利用电子散斑相移技术测量物体三维面形方法.PDFVIP

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2019-01-11 发布于湖北
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利用电子散斑相移技术测量物体三维面形方法.PDF

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第卷第期光子学报３９１１　　　Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．１１年月　　　　　　　　　　　　２０１０１１ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡＮｏｖｅｍｂｅｒ２０１０文章编号：（）１００４４２１３２０１０１１２０４５４利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法 赵瑞冬，孙平 （山东师范大学物理与电子科学学院，济南２５００１４）摘要：为了获得准确的面形测量，提出了一种相移电子散斑干涉技术测量物体面形的测量方法．　利用电子散斑干涉产生载波条纹，该载波条纹受到物体表面高度的调制变得弯曲，引起载波条纹相位的变化，可运用相移技术提取物体的相位信息，最后根据高度和相位之间的关系得到物体的面形介绍了该方法的原理，利用该方法对球冠物体进行了面形测量，证明该方法测量物体面形是可．行性的由于是采用散斑干涉的方法产生干涉条纹，因此该方法测量物体面形具有灵敏度高的．优点．关键词：物理光学；电子散斑干涉术；相移；面形测量中图分类号：文献标识码：：／Ｏ３４８Ａ犱狅犻１０．３７８８ｚｘ２０４５　　　　　　　　　　ｇ０引言束相干光之间的相位差引入等间隔的位移，相位差　发生变化时，干涉条纹也作相应的平移，使干涉场中随着计算机技术、电子技术、数字图像采集和处任意点的光强呈余弦变化移动面形测量的关键技．［］１理技术的飞速发展，产生了电子散斑干涉术近年．术之一是提取相位，按相位测量方法的不同，主要有来由于电子散斑干涉技术具有操作简单、全场测量、傅里叶变换法和相移法，相移法分为时域法非接触、高准确度、隔震要求低的特点，逐渐取代了（）和空域法ＴｅｍｏｒａｌＰｈａｓｅＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＭｅｔｈｏｄｓｐ传统的三维面形测量方法，成为一种较为成熟的光（）两大类时ＳａｔｉａｌＰｈａｓｅＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＭｅｔｈｏｄｓ．ｐ［］２［］学三维面形测量技术，并且在面形测量、变形测