基于纳米多晶硅薄膜压力传感器汽车胎压监测系统研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 Abstractdesign Abstract design，fabrication，test and debugging of the tire pressure monitoring system could be achieved favorably．The experiment results indicate that，the designed and fabricated nano—polysilicon thin film tire pressure monitor system，in this paper，not only could achieve the measure of pressure and wireless transmission function，but also increase of the stability and improve the temperature characteristic． Key words：nano-polysilicon thin film piezoresistor；MEMS technology；LPCVD method；tire pressure sensor；tire pressure monitoring 万方数据 黑龙江大学硕士学位论文目 黑龙江大学硕士学位论文 目 录 中文摘要 I Abstract ．II 第1章绪论 l 1．1多晶硅压力传感器研究现状 ．．1 1．1．1多晶硅压力传感器国内研究现状 1 1．1．2多晶硅压力传感器国外研究现状 4 1．2胎压传感器国内外研究现状 ．．5 1．2．1胎压传感器国内研究现状 5 1．2．2胎压传感器国外研究现状 8 1．3胎压监测系统国内外研究现状 ．．8 1．3．1胎压监测系统国内研究现状 8 1．3．2胎压监测系统国外研究现状 ．．10 1．4研究目的和研究意义 ．12 1．4．1研究目的 ．．1 2 1．4．2研究意义 ．．12 1．5论文主要研究内容 13 第2章纳米多晶硅薄膜胎压传感器基本结构与工作原理 ．14 2．1纳米多晶硅薄膜胎压传感器基本结构 ．．14 2．2纳米多晶硅薄膜胎压传感器工作原理 。l 5 2．2．1压阻系数 15 2．2．2应变因子 16 2．2．3工作原理 ．．1 8 2．3本章小结 ．19 第3章纳米多晶硅薄膜胎压传感器芯片设计、制作与特性 ．20 3．1纳米多晶硅薄膜胎压传感器设计 20 万方数据 目 目 录 3．1．1硅杯结构设计 ．．20 3．1．2压敏电阻分布位置设计 ．2l 3．2纳米多晶硅薄膜胎压传感器制作 26 3．2．1纳米多晶硅薄膜胎压传感器制作工艺 ．26 3．2．2纳米多晶硅薄膜胎压传感器芯片封装 ．27 3．3纳米多晶硅薄膜胎压传感器静态特性 28 3．3．1线性度 28 3．3．2重复性 30 3．3．3迟滞 3 l 3．3．4准确度 3 1 3．3．5灵敏度 32 3．3．6纳米多晶硅薄膜胎压传感器温度特性 ．33 3．4本章小结 一34 第4章胎压监测系统设计与仿真 35 4．1系统总体方案设计 35 4．1．1系统总体工作流程 ．．35 4．1．2电路原理图 36 4．2胎压监测系统各功能模块电路设计 。38 4．2．1放大电路设计 38 4．2．2模数转换电路设计 一39 4．2．3温度测量电路设计 一40 4．2．4单片机外围电路设计 ．．41 4．2．5液晶显示电路设计 ．．4 1 4．2．6无线模块电路设计 ．．42 4．2．7电源电路设计 43 4．3胎压监测系统电路仿真 ．43 4．3．1放大电路仿真 44 万方数据 黑龙江大学硕士学位论文4 黑龙江大学硕士学位论文 4．3．2胎压检测端电路仿真 ．．44 4．3．3无线模块接收端电路仿真 一45 4．4本章小结 一46 第5章胎压监测系统实验结果分析和讨论 47 5．1胎压监测系统测试装置 47 5．2胎压监测系统电路制作 47 5．3胎压监测系统调试 49 5．3．1胎压监测系统校准 一49 5．3．2胎压监测系统温度补偿 ．．53 5．4本章小结 ．．56 结 论 57 参考文献 ．58 附 录 ．．64 致 谢 77 独创性声明 78 万方数据 第1 第1章绪论 第1章绪论 轮胎爆裂对汽车行驶安全有重要的影响，而轮胎监测的准确性对轮胎爆裂起 到关键作用，轮胎监测准确性要求传感器具有较高的准确度和稳定性。随着科学 的发展，传感器向多功能化、微型化和高灵敏度方向发展，为改善传感器特性， 对其敏感材料与结构的研究成为新的热点。纳米多晶硅薄膜胎压传感器具有制作 工艺简单、灵敏度高和温度漂移低等优异特性，而受到广泛关注【l】。 1．1多