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运动五感:
利用MEMS惯性
感测技术实现应用变革
尽管MEMS (微机电系统)技术在气囊和汽车压力传感器中的 加速度(记住,包括平移运动)衡量速度在单位时间内的变
应用已有大约20年,但促使大众认识到惯性传感器作用的是 化。速度以米/秒(m/s)为单位,包括位移速度和运动方向。因
® ® ® 2
Nintendo Wii™和Apple iPhone 。 此,加速度的单位是米/ 平方秒(m/s ) 。负值的加速度—想像一
下司机踩刹车时汽车减速—被称为减速度。
然而,在一定程度上,流行的看法是惯性传感器的作用主要体
现在最终产品有必要检测加速度和减速度的时候。诚然,从纯 现在考虑不同时期周期的加速度。可以将振动想像成快速发生
科学的角度来看,确实是这样。但是,这种看法忽视了MEMS 的周期性加速度和减速度。
加速度计和陀螺仪日益增加的诸多用途,比如,医疗设备、工
业设备、消费类电子设备、汽车电子设备等领域。 类似地,冲击指突如其来的加速度。但与振动不同,冲击具有
非周期性,一般只发生一次。
通过审视五种运动检测模式各自的可能性,可以超越当今大量
MEMS应用的范围,极大地扩大应用选项。这五种模式是加速度 我们再次延长时间来看。当物体因运动改变倾角时,其相对于
(包括平移运动,如位置和方向)、振动、冲击、倾斜和旋转。 重力的位置会发生一定的变化。与振动和冲击相比,这种运动
一般非常缓慢。
例如,带活动检测功能的加速度计可以实现电源管理技术,因
为该功能可以通过运动或振动的缺失来确定设备处于非活动状 因为前四种运动模式检测都涉及到加速度的某个方面,所以它
们是通过 力来衡量的,即重力对地球上物体产生的力的单位
态,从而告诉设备进入最低功耗模式。复杂的控制和物理按钮 g
(1 = 9.8 m/s2 )。MEMS加速度计通过测量重力在加速度计轴
逐渐被由手指触摸动作控制的手势识别接口取代。在其他应用 g
案例中,最终产品变得更加精确,例如,罗盘可以对手持倾斜 上产生的作用来检测倾角。在三轴加速度计中,用三个独立的
角进行补偿。 输出来测量X 、Y和Z三个运动轴上的加速度。
目前,市场份额最大的加速度计用差分电容来测量 力,然后
本文将举例说明高级商用MEMS加速度计和陀螺仪将如何通过 g
五类运动检测实现各类最终产品的变革。 将其换算成伏特或位值(位值用于数字输出加速度计),随后
将换算结果传至微处理器,以便微处理器执行操作。得益于技
术的最新发展,已经可以制造出微型低 和高 检测范围的MEMS
运动检测和MEMS简介 g g
加速度计,其带宽比以前的加速度计要宽得多,极大地增加了
加速度、振动、冲击、倾斜和旋转(旋转除外)实际上都是加
潜在应用领域。低g检测范围小于20 g ,用于处理人可以产生的
速度在不同时间段的不同表现。然而,我们人类无法基于直觉
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