薄膜晶体管-(TFT)-阵列制造技术.pdfVIP

内 容 简 介 高质量的平板显示器的核心是薄膜晶体管（ ， ） ｔｈｉｎｆｉｌｍｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ ＴＦＴ 矩阵的特性和制造技术。这本书主要介绍非晶硅（ ， ａｍｏｒｈｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎ ｐ ） 阵列大规模生产的制造技术。 ａＳｉＴＦＴ 全书共 １３章，从 ＴＦＴ 元件的结构及特点，到 ＴＦＴ 检查与修复，包括 ＴＦＴ 阵列制作清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不良解析和检查修复。本 书从ＴＦＴ 阵列大规模制造的角度，第一次比较全面地介绍了ＴＦＴＬＣＤ生 产线的 ＴＦＴ 阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料 规格、设备特性、品质控制、产品技术解析；书中还以工艺原理、设备参数控 制、材料特性要求、生产工艺文件要求等大规模生产技术要素为核心，比较 完整地介绍了现代化信息制造业的工艺流程与工艺管理。 本书可作为平板显示行业工程师、技术人员、管理人员的培训教材，也 可供高等院校相关专业方向研究人员、研究生以及相关行业从业人员 参考。 ³ö°æ˵Ã÷ 科学技术是第一生产力。 世纪，科 ２１ 　　 学技术和生产力必将发生新的革命性 突破。 为贯彻落实“科教兴国”和“科教兴市” 战略，上海市科学技术委员会和上海市新 闻出版局于 年设立“上海科技专著出 ２０００ 版资金”，资助优秀科技著作在上海出版。 本书出版受“上海科技专著出版资金” 资助。 上海科技专著出版资金管理委员会 Ðò 工业革命造就的工业社会，解决了人类肢体能力的延伸。人类进入信息社 会，希望解决的是人类思想能力，即智力的延伸。计算机和网络技术的发展大大 推动了社会信息化进程，而显示技术又为社会信息化提供了人机最主要的信息 交换界面，其重要性越来越显现。社会的信息化推动了显示器件的平板化、便携 化和节能化发展；反之，显示器件的日新月异发展又为社会信息化提供了必要 条件。 液晶显示器件是大量现代科学技术成果的结晶，成为平板显示器件的主流， 日益受到社会的青睐。本书系统介绍了液晶显示器件（ ）的核心制造 ＴＦＴＬＣＤ 技术———ＴＦＴ 阵列制造技术，这对该产业的研究和发展具有现实意义。我们产 业界人士因从中受益而感谢作者谷至华先生的辛勤劳动。我相信教育界、科技 界和经济界的其他人士也同样会从中受益。 愿我们的平板显示产业蓬勃发展！愿大家一起为平板显示产业的发展多作 努力和贡献！ 上海广电（集团）有限公司 顾培柱 年 月 日 ２００７ ８ ８ ±à Õß µÄ »° 平板显示作为继汽车和大规模集成电路之后第三个具有全