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第三章 常用传感器与敏感元件 第一节 常用传感器分类 第二节 机械式传感器及仪器 第三节 电阻、电容与电感式传感器 第四节 磁电、压电与热电式传感器 第七节 半导体传感器 第十节 传感器的选用原则 传感器的定义： 传感器是以一定的精度和规律把被测量转换为与之有确定关系的、便于应用的某种物理量的测量装置。 第三节 电阻、电容与电感式传感器 一、电阻式传感器 电阻式传感器是将被测量转变为电阻变化的传感器。 电阻式传感器分类： 变阻器式传感器 电阻应变式传感器 固态压阻式传感器 1、变阻器式传感器 变阻器式传感器又称为电位计式传感器。它通过改变电位器 触头位置，实现将位移转换为电阻R的变化。 工作原理： 一个电导体的电阻值： 式中：R－电阻（Ω）； ρ－材料的电阻率（Ω·mm2/m）； l－导体的长度（m）； A－导体的截面积（mm2）。 电阻丝直径和材质一定，电阻值随导线长度改变。 变阻器式传感器有直线位移型、角位移型和非线性型等。 直线位移型 kl为单位长度中的电阻 。 其灵敏度： 角位移型 灵敏度： α－触点转角(rad)； ka－单位弧度对应的电阻值。 变阻器式传感器的优缺点： 优点：结构简单，性能稳定，使用方便； 缺点：分辨力受电阻丝直径限制，很难优于20μm；较大的噪声（电刷和电阻元件之间接触面磨损、尘埃附着等原因）。 2、电阻应变式传感器 可测参数：应变、力、位移、加速度、扭矩等。 电阻应变式传感器:金属电阻应变片和半导体应变片。 （1）金属电阻应变片 基本工作原理： 当应变片发生机械变形时，其电阻值发生变化。 主要形式：金属电阻应变片有丝式和箔式两种。 金属丝式应变片是用0.01～0.05mm的金属丝绕成敏感栅 ，粘贴在绝缘的基片和覆盖层之间，由引出导线接于电路上。 依次代入式（3－5），得 说明： Sg为应变片系数或灵敏度,金属电阻丝的灵敏度常在1.7——3.6之中。 （2）半导体应变片 半导体应变片的结构如图，使用方法同电阻丝应变片。 工作原理：单晶半导体材料在沿某一轴向受到外力作用时，其电阻率会发生变化，这种现象称为压阻效应。 实际上，任何材料都不同程度地呈现压阻效应，但半导体材料的这种效应特别强。 单晶半导体在外力作用下，原子点阵排列规律变化，导致载流子迁移率及载流子浓度变化，从而引起电阻率变化。 金属丝电阻应变片与半导体应变片 的主要区别是什么？ 半导体应变片的优点是: 灵敏度非常高，有时传感器的输出不需放大可直接用于测量； 体积小，扩大了半导体应变片的使用范围。 最大的缺点是温度误差大，故需温度补偿或恒温条件下使用。 应变片粘贴于弹性元件上，与弹性元件一起构成应变式传感器。这种传感器常用来测量力、位移、压力、加速度等物理参数。在这种情况下，弹性元件将得到与被测量成正比的应变，再通过应变片转换成电阻的变化后输出。 二、电容式传感器 1、变换原理 定义：电容式传感器采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。 公式：平板电容器的电容可表达为： 各参数含义： ε—极板间介质的介电常数，当介质为空气时ε=1； ε0—真空介电常数,ε0=8.85×10-1 2(F/m); A—极板面积（m2）； δ—两极板间距离（m）。 结论：被测量使δ、A或ε变化，均会引起电容C变化。保持其中的两个参数不变，仅改变另一参数，即可把该参数的变化变换成电容量的变化。 分类：根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三种，前两种应用较广。 例题： 三、电感式传感器 电感式传感器的工作原理是把被测量如位移等，转换为电感量变化的一种装置。 按照转换方式的不同，可分为自感型（包括可变磁阻式与涡流式）和互感型（差动变压器式）两种。 1、自感型 （1）可变磁阻式 组成：线圈、铁心和衔铁。 由电磁感应原理，线圈自感L为 N-线圈匝数，Rm-磁路总磁阻[H-1]。 当气隙δ较小时，该磁路的总磁阻 式中 l－铁芯的导磁长度(m); μ－铁芯磁导率 (H/m); A－铁芯导磁截面积; δ－气隙宽(m); μ0－空气磁导率, μ0=4π×10-7(H/m); A0－空气气隙导磁横截面积(m2) 铁心磁阻与空气气隙的磁阻相比很小，可忽略，则总磁阻Rm近似为 （2）涡流式 涡电流式传感器变换原理：利用金属导体在交变磁场中的涡电流效应。 高频反射式涡流传感器工作原理： 涡流产生：当线圈中通以一交变高频电流i时，会引起一交变磁通Ф。在靠近线圈的金属表面内部产生一感应电流i1，该电流i1即为