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32 12 Vol. 32 No. 12
2003 12 ACTA HOTONICA SINICA December 2003
ML
*
徐 静 戴道锌 何赛灵
( , 310027)
利用结合完美 配层( ML) 边界的有限差分法计算了光波导的泄漏损耗 通过采用非
均匀格点差分格式和反正切坐标变换的方法, 有效地减小了计算量并提高了计算精度分析了 I
(polyimide) 掩埋型波导和SOI( silicon-on-insulator) 脊型波导两种典型结构的泄漏损耗, 给出了波导
结构尺寸对泄漏损耗的影响, 并对有效减小泄漏损耗的方法进行了讨论
有限差分法; 完美 配层边界; 泄漏损耗; 反正切变换; 非均匀格点; 聚酰亚胺; SOI
TN252 A
n ; k
0
; ; n ML
p
Si ; ML ML
x y
Si ( 3. 5) , ,
Si , Si
( ) , ,
( Si SiO2)
( Si polymer ) , , x y
y , ,
, ML h
i
, My , yi
, h / M ( SOI
i y
[ 1,2]
, ) ,
ML[ 1] x ,
, = arctan( x ) ,
polymer SOI , x ( - , + )
, , ( - / 2, / 2) ( 1) , ,
x , ML
1
, ,
ML ,
,
T M E [ 3]
y
1 1 Ey
1- j / n2 x 1- j / n2 x +
x 0 p x 0 p
2
1 1 1 ( n Ey )
1- j / n 2 y n 2 1- j / n 2 y +
y 0 p y 0 p 图1 反正切变换
2 2 2
n k Ey = Ey ( 1) Fig. 1 Arc tangent transformation
,
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