微细加工表面的三维微观形貌比较分析.PDF

第猿远卷 第远 期 焊摇 接摇 学摇 报 灾燥造援猿远摇 晕燥援远 圆园员缘 年 远 月 栽砸粤晕杂粤悦栽陨韵晕杂韵云栽匀耘悦匀陨晕粤宰耘蕴阅陨晕郧陨晕杂栽陨栽哉栽陨韵晕 允怎灶藻摇 摇 圆园员缘 微细加工表面的三维微观形貌比较分析 员袁圆 员 猿 员 员 张摇 彬 袁摇 郭黎滨 袁摇 张志航 袁摇 姚风龙 袁摇 郭摇 猛 渊员援 哈尔滨工程大学机电工程学院袁哈尔滨摇 员缘园园园员曰圆援 哈尔滨工程大学图书馆袁哈尔滨摇 员缘园园园员曰 猿援 洛阳理工学院机械工程系袁洛阳摇 源苑员园圆猿冤 摘摇 要院分析三种微细加工表面微观结构尧表面凸峰的高斯曲率以及表面谱距特征的结果表明袁微细电火花线切割 加工表面由随机分布的半球状或半椭球状的凸峰和凹坑组成袁没有明显的纹理方向袁表面高度尧斜度均一性及等方 性较好袁呈典型的各向同性特征援 精密磨削加工表面由较为规则的棱和沟组成袁有明显的加工纹理方向袁表面斜率 均一性和等方性较差袁呈典型的各向异性特征援 激光微细加工表面由单峰和多峰相连组成袁表面纹理方向性不明 显袁表面等方性很好袁但高度和斜率均一性较差袁虽然属于各向同性表面袁但具有特殊性袁在表面评价时应选取适当 评价参数援 关键词院微细加工曰 微观形貌曰 高斯曲率曰 谱距曰 表征 中图分类号院栽匀员远员曰栽郧源愿缘摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 文章编号院园圆缘猿原猿远园载渊圆园员缘冤园远原园园远员原园源 园摇 序摇 摇 言 将小能量脉冲光束聚焦到工件表面袁由于激光束的 热作用袁使辐照区域的固体物质在短时间内熔化尧气 相对于常规机械加工而言袁微细加工零件的几 化并抛出袁剥离的材料以气尧液的方式离开加工表 何尺寸更小尧精度要求更高袁表面的微观形貌对于产 面袁在工件表面形成四周带有凸起的凹坑援 由于工 品的表面质量尧工作性能和使用寿命的影响更为显 件相对激光束按照事先规划的轨迹运动袁最终加工 著袁对加工表面评定提出更高要求袁而目前普遍采用 出平面或曲面援 图员所示为扫描探针显微镜渊杂孕酝冤 的二维粗糙度评定方法已经无法满足需要援 近年 测量的激光微细加工表面微观形貌援 从图 员 中可以 来袁国内外学者对表面三维粗糙度评定方法的研究 看出激光微细加工表面结构主要由表面凸峰组成援 取得了一些进展袁但多数评定参数都是基于二维粗 其中表面凸峰分为单峰和由多个单峰连接在一起的 糙度参数的三维拓展袁对于区域表面的三维粗糙度 结合峰曰由于凸峰形状不规则渊图员 中葬袁遭袁糟袁凿冤袁故 评定还缺乏统一标准咱员暂援 表面纹理方向呈不规则分布援 微细电火花线切割尧激光微细加工和精密磨削 加工是三种典型的微细加工方法援 由于加工机理及 加工工艺不同袁加工表面微观形貌的结构特征有较 大不同咱圆暂援 精确评价加工表面的三维粗糙度袁必须 充分认知表面微观结构及表面特性袁并根据不同的 纹理结构提出不同的评价参数援 因此对比上述三种 方法加工的粗糙度渊砸葬 冤值相同的表面袁分析表面形 貌微观结构及表面特性袁可以为准确地进行三维粗 糙度评定提供理论基础援 员摇 加工机理和表面微观结构特征 激光微细加工渊造葬泽藻则葬泽泽蚤泽贼藻凿皂蚤糟则燥责则燥糟藻泽泽蚤灶早冤是 图员摇 激光微细加工表面微观形貌 收稿日期院圆园员缘原园猿原圆远 云蚤早郾员摇 酝蚤糟则燥鄄贼燥责燥早则葬责澡赠燥枣造葬泽藻则葬泽泽蚤泽贼藻凿皂蚤糟则燥责则燥糟藻泽泽蚤灶早 基金项目院黑龙江省自然科学基金面上资助项目渊耘圆园员员猿苑冤 泽怎则枣葬糟藻 摇摇摇 远圆 焊摇 接摇 学摇 报 第猿远卷 微细电火花线切割加工渊皂蚤糟则燥 憎蚤则藻 藻造藻糟贼则蚤糟葬造 杂孕酝测量的精密