大功率静电感应器件的研制微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

兰髑大学硕士学位论文 兰髑大学硕士学位论文 摘要 攘要 静电感应器件(Static Induction Device_—峭ID)是一类新型的电力电子器件， 主要包括静电感应晶体管(Static Induction Transistor_—_sIT)、双极型静电感应 晶体管(Bipolar一滟de Static Induction Transistor——髂I彳)和静电感廒晶阑管 (Static Induction Th”i8tor．—_sITH)，具有其它半导体器件无法比拟的一系列优 点，如控制功率大、工作频率高、电流容量大、耐高压、功耗小、噪声低、抗辐射能 力强、开通关断全可控等，在很多领域得到了广泛的应用。 本论文系统地阐述了SIT、SITH的作用理论，着重介绍了SID的结构、I叫特性、 电流传输机制及沟道势垒的形成。在此理论基础上，结合器件制造的特点，对器件的 相关参数进符了讨论分析，并给出了具体的定值，利用L-edit版图设计软件设计了新 的版图。 实验以制备电性熊优良的SID为出发点。结合SITH制作的经验和存在的|、掰题，在 外延工艺中解决了外延反型的工艺难点，在挖槽工艺中使用三步刻槽法，得到稳定的 外延工艺和挖槽工艺条件，通过大量的实验，对部分工艺条件进行了调整：通过工艺 参数的调节，得到了具有典型混合卜矿特性的复合SIT的工艺条件。通过对试制管芯 的测试，基本电性能有了明显的改善，说明了制作方案是合理的、可行的。 关键词：静电感应器件、电力器件、版图设计、外延工艺、刻蚀工艺 兰州大学硕士学饿论文 兰州大学硕士学饿论文 Abstract Abstract Static Induction Devices(SIDs)mainly include Bipolar-Mode Static Induction Transistor03sro，StaticInductionTransistor(SIT)andStaticInductionThyristor(SITrO． Being one kind of novel power devices，SIDs for high operating frequency and high power application has attracted many scientistsgreat attention and has gained significant developments，since SIDs have many excellent electrical performance，such as low distortion， low noise，good linearity,no second breakdown,negative temperature coefficient,high output power and SO on． In this paper,we described the operational mechanism of SIT(SlT8)，emphasized the structure，bV characteristic,the theory of the current transition and the formation of channel barrier of SIDs．Based on these theories，we discussed and analyzed the regulation of constructional parameters，material parameters，and technological parameters，and their value has been given．We alSO used the L-edit software to design our new layouts． Under the goal of getting good electrical property SIDs，Combining with our experience and problems，in the epitaxial process，the self-doping phenomena are examined，in the etching process，the three trench-layouts are