单晶炉晶体提拉系统平衡研究机械电子工程专业论文.docxVIP

摘 要 摘 要 论 文 题 目: 单 晶炉 晶体 提 拉 系 统 平 衡 研 究 学 科 专 业 : 机 械 电子 工 程 研 究 生 : 李 晓 茸 指 导 教 师 : 原 大 宁 副 教 授 摘 要 提 拉 法 单 晶 炉 是 晶 体 生 长 设 备 中最 重 要 的 产 品 系 列 之 一 ，用 此 方 法 单 晶 生 长 速 度 最 高 ， 晶 体 尺 寸 最 大 ，晶体 质 量 最 好 ，最 易 实 现 自动 控 制 ，因 此 获 得 了最 广 泛 的 应 用 。而 此 方 法 生 产 高 质 量 单 晶 的 主 要 因 素 取 决 于 单 晶 提 拉 过 程 的 平 稳 性 ，因 此 提 拉 系 统 良好 的 平 稳 性 是 提 高 单 晶 炉 设 备 性 能 和 生 产 效 率 的 关 键 。以 良好 的 平 稳 性 为 目标 ，本 文 对 单 晶 炉 提 拉 系 统 进 行 了系 统 平 衡 方 面 的研 究 。 本 文 首 先 介 绍 了单 晶炉 提 拉 系 统 的 功 能 、结 构 特 点 以及 工 作 原 理 ; 讨 论 了单 晶 炉 提 拉 系 统 静 平 衡 与 动 平 衡 的 原 理 和 方 法 ，分 析 、研 究 了提 拉 系 统 完 全 平 衡 的 条 件 ，以及 提 拉 系 统 不 平 衡 校 正 的 方 法 。 结 合 单 晶 炉 提 拉 系 统 实 际 结 构 ，进 行 了 系 统 UG 三 维 实 体 建 模 、 动 平 衡 数 学 建 模 、计 算 以及 提 拉 系 统 动 平 衡 仿 真 配 平 工 作 。系 统 动 平 衡 分 析 、计 算 的 结 果 证 明 ，提 拉 系 统 配 平 效 果 即 动 平 衡 效 果 是 比较 好 的 。 随 后 ，针 对 某 型 号 单 晶 炉 提 拉 系 统 的 实 际 结 构 ，进 行 了 提 拉 系 统 理 论 静 不 平 衡 量 的 大 小 、相 位 计 算 ，三 维 软 件 UG 建 模 计 算 和 该 设 备 “以动 测 静 ”法 的 平 衡 实 验 ; 完 成 了相 关 理 论 与 实 验 数 据 的 对 比分 析 ，根 据 分 析 结 果 ，针 对 提 拉 系 统 加 称 重 机 构 后 质 心 较 高 ，质 量 和 体 积 较 大 ，影 响 系 统 运 转 平 稳 性 的 缺 点 ，提 出 了 结 构 改 进 的 方 案 并 完 成 了 改 进 设 计 以 及 相 应 构 件 的 刚 度 、强 度 校 核 。结 果 证 明 这 些 改 进 措 施 使 得 改 进 后 的 系 统 在 总 质 量 、总 体 积 、 总 质 心 以及 平 衡 性 等 方 面 较 原 系 统 结 构 有 很 大 改 善 ，使 提 拉 系 统 运 转 更 加 平 稳 、 可 靠 。 关 键 词 : 单 晶 炉 提 拉 系 统 ; 静 、 动 平 衡 ; 结 构 改 进 A b A b str a C t T it!e : R E S E A R C H O N T H E B A L A N C E O F P U L L IN G S Y S T E M O F 5 IN G L E ·C R Y S T A L F U R N A C E M aj o r : M e c h a n ic a l a n d E !e c tro n ic E n g in e e rin g N a m e : X ia o ro n g L l S ig n a tu 坦 S u P e rv is o r : AS s o c ia te P ro t D a n in g Y U A N S ig n a tu 坦 A b s tra C t S in g le一erys tal fu m ac e b y ez o ehr al ski m eth o d 15 o n e o f th e m o st imP o rt ant eq u iP m en t. B y thi s m eth o d ，hi gh sP eed o f erys tal gro w th ，ery stal s o f b ig size，hi gh q u ality erys tals an d a u to e o n tro l e an b e o b tai n e d ，fo r w hi e h it h as b e