PIMars六轴压电平台系统.PDFVIP

PIMars六轴压电平台系统 六自由度高精度纳米定位系统 P-562.6CD  6个运动轴：3个为线性，3个为旋转  行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏 摆角）  并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度  电容式传感器带来最高线性度  零间隙，高精度柔性铰链导向系统  优异的扫描平面度  通孔尺寸66 毫米×66 毫米  PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命 -9  超高真空兼容至10 百帕 应用领域  扫描显微镜  超分辨率显微镜  生物技术  掩模/ 晶圆定位  样本定位  干涉测量  计量 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度 各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动 导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。 07.06.2018 适用于复杂真空应用 压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。 规格 P-562.6CD 单位 公差 主动轴 X，Y，Z，θ ，θ ，θ X Y Z 运动和定位 集成传感器 电容式 X、Y、Z向上的闭环行程 200 微