微电容阵列检测系统的设计.PDF

第32 卷 第3 期 新乡学院学报 2015 年3 月 Vol. 32 No. 3 Journal of Xinxiang University Mar. 2015 微电容阵列检测系统的设计 葛维冬，许德章，何慧娟 （安徽工程大学a.先进数控和伺服驱动技术安徽省重点实验室；b.机器人产业技术研究院， 安徽 芜湖241000） 摘 要：通过实验分析了电容读取芯片MS3110P各项性能指标，并 计了一款能自适应匹配模拟开关产生的电荷注 入效应的P 控制器；开发出一款具有单电容阵列测量模式和差分电容阵列测量模式的微电容阵列检测电路，并探讨 了其寄生电容产生的原因。测试结果表明，该检测电路克服了各种寄生电容对传感器的影响，提高了测量精度，能 够应用于MEMS 触觉传感器微电容阵列的测量。 关键词：微电容阵列；触觉传感器；寄生电容；MS3110P 中图分类号：TP212. 1 文献标识码： A 文章编号：2095-7726 （2015）03-0045-05 电容式传感器由于具有结构简单、分辨力高、工作 分电容阵列测量模式的微电容阵列检测电路。 可靠、动态响应快、可非接触测量，并能在高温、高辐射 1 电容检测芯片的介绍 和强烈振动等恶劣条件下工作等优点，已在工农业生 MS3110 的原理框图如图1所示。MS3110主要由电 产的许多领域得到广泛应用，如在触觉传感器系统中， 容补偿电路、电荷放大器、低通滤波器以及驱动放大器 电容传感器被用来获得压力信号。 组成。CS1IN 、CS2IN 为被读取差分电容对；CS1 和CS2 为 针对微电容单元的测量，国内外研究者进行了不 MS3110芯片内置的可调补偿电容阵列，用于调节由于 ［1］ 少探索，并提出了多种测量电容的方法 ，包括充/放电 输入电容不对称引起的偏置。C 为电荷放大器的可调积 f 法、AC 电桥法、交流锁相放大法、基于V / T 变换的方 分电容，用于调节前端积分器的增益。MS3110 的理论 ［2 ］ 法 、基于混沌理论的恒流式混沌法和基于电荷放大 传输函数为V =[V 1.14 Gain （C -C ）]/C +V 。其 0 2P25 S2T S1T f REF ［3 ］ 原理的方法 等；但这些方法难以测量微电容阵列，也 中：C =C +C =C +C +C ；C =C +C =C +C +C