飞秒激光加工微光学元件光学专业论文.docxVIP

摘要飞秒激光因其超强、超快的特点，在激光微细加工领域，具有了其它长脉冲 摘要 飞秒激光因其超强、超快的特点，在激光微细加工领域，具有了其它长脉冲 激光加工无法比拟的优势，因此成为科研人员关注的焦点。本论文对飞秒激光加 工微光学元件工艺进行了系统研究。采用飞秒激光透明材料改性和飞秒激光双光 子聚合技术制备了位相光栅和达曼光栅等微光学元件。主要包括一下几个方面的 内容： 一．首先对Dan】IIla如光栅进行了设计。使用模拟退火算法，设计了多种产生 不同衍射阶次的Dam埘a加光栅。对设计的Da蝴衄光栅衍射效果进行了模拟 仿真，模拟的结果证明了设计结果具有非常高的质量，从而为下一步的制作奠定 了基础。 二．使用飞秒激光放大器进行了飞秒激光使玻璃改性的实验，并制作了 Da咖a衄光栅。首先研究了激光能量和扫描速度对于改性线宽的影响，在此基 础上，在玻璃内部成功制备了二维Da珊m皿光栅，进行了衍射实验，并对误差 产生的原因进行了详细的分析。 三．使用飞秒激光振荡器进行了飞秒激光双光子聚合的实验研究。分析了曝 光时间、激光能量和激光移动速度对于飞秒激光双光子聚合空间分辨率的影响。 在此基础上，制备了位相光栅及一维Da珊mnn光栅，并通过改变聚合材料的厚 度，有效的解决了相位改变量不够的问题，得到了很好的衍射结果。制作结果也 证明了双光子聚合技术在制作微光学元件方面有着非常好的应用前景。 关键词：飞秒激光，微加工，Da脚mann光栅，透明材料，双光子聚合 ABSTRACTIn ABSTRACT In the d锄斑of：las盯加jcromachinin吕南mtosecond 1aser proc嚣s证g h勰a船扯ted廿le sc妇lt迂瓷r骼曲mher ext朗si、，e妙att朗tion．In this thesis，we sn】dy the f如rication of Inicro叩tical ekmems with危In协second la∞r．FeI呦second laser dnct writiIlg in 廿ansparem盥teriak and the咖一p110ton photopolymer泣tion technology arc璐ed tD 蠡br妨t。tbe pbase—g陋tin笋and DaⅡ1mann g忍ting The强in coments are ciaSsified 嬲南no、珊． 1．The sinlulatcd an∞aling a190rithnl is used t0 desi印tbc Da咖mnn g陷tin吕Many kiDds of DaIIlIIlann grating were desi弘ed．ACcording t0 desig璐tk resuk tbe siⅡmlation dmctiDn result、Ⅳe北presenL The di伍action resun p∞ved tbat tbe 心sun we designed硇、Ie tbc ex昀mely 11igh quaIi哆，th趣bas hid the f0劬tion自r the ne】吐wr0出 2．We stl_ldy tbe reJatiD璐b etween tbe l笛er energ弘the旬盟nshting specd and tbe re鱼lctive index cbanged size in glass；thcnthe Danmla皿gra恤g w嬲fabricated i璐ide glass by fe触osecond laser ampli丘er successmUy．According t0 tbe p碍hI血ary nnnufacmre resu也the errorS were analyzed on detaiL 3．鼬searches on tbe铆。一pboton pho姊。蜘ner妇tiDn technobgy by企mtosecond laser osc她的r were p阳cessed．The reht幻ns bet孵en tk受atufe s扔and tbe e)中osure time，tk】aser power，tbc p∞cessing Speed werc researched 6rstlyafI船 也她we伍bricated tbc pbause grating and讪iⅡ1e璐ioml Dammann gmtin吕 Though adjustⅡ1em the thickness of the photoresjSt，tbe better manu伍ctu聆result 、ⅣaS obta五ed．Thc resuh has shown tbat the伽o-photon