多晶sic梳齿驱动器的结构分析与优化设计微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

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2019-01-27 发布于上海
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多晶sic梳齿驱动器的结构分析与优化设计微电子学与固体电子学专业论文.docx

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多晶sic梳齿驱动器的结构分析与优化设计微电子学与固体电子学专业论文

目录目录目录 1.绪论 1.1 微机电系统的发展概况 . .................. .. ................... .. ..… … 1 1.2 M E M S 的相关研究领域 . ............ .. ... .. .. .......... ........ .. ..… … 2 1.3 碳化硅材料性能及在 M E M S 中应用的发展概况 ..... ..................… … 2 1.3 .1 si C 材料性能 ... .. . ................... . ............. ....... .. .… … 3 1.3. 2 应用于 M E M S 中 SI C 薄膜材料的制备 ........................ ... … … 4 1.3. 3 SI C 薄膜在 M E M S 中的应用 ............ .. ................... .. .… … 4 1.4 M E M S C A D 现状 . . . . . . . . . . . .. .. ... .. . . . . . . . . . .… … ，. . … ，. . . . … … ，. 5 1.5 课题的内容及目的 . .. . . . ......... ... .... ... .. .......... ........ .. .… … 5 2. 微驱动器驱动原理 2 .1 弓}言 .... ... . .. ... .. . . . .................. .. .... ............. ... ..… … 7 2. 2 微驱动器驱动原理 .. . . ... .. ............. ... .. ........... ...... .. .… … 7 2. 3 静电驱动原理 .. ... . .. .. .................. .. ...... .... ....... .. ...… … 8 2. 3 .1 平行板静电驱动结构 .................................… … ，… ，.… 9 2. 3. 2 平板悬臂梁静电驱动结构 ......................................… … 10 2. 3. 3 梳齿静电驱动结构 . .................. .. .... .............. ... .… … 11 2. 4 本章小结 .. .. . .. ... . . . .................. .. .... .............. ... .… … 12 3. 有限元法在结构设计及优化设计中的应用 3.1 引言 .. ... .. ......... ..................... ... ...................… … 13 3. 2 有限元法 (F E M ) 理论 . .................. .. .. ........ ....... .... … … 13 3. 3 有限元法在结构分析中的应用 ........... ... .. ........... ...... ... .… … 14 3. 4 有限元法在优化设计中的应用 .....… … ，..................... .. ..… … 16 3. 4 .1 结构优化模型 .. . . .. ................. .. ... ........ ......... ..… … 16 3. 4. 2 结构优化算法 ... . . .. ... .......... .. .. .. ............. .... ... ..… … 17 3. 5 本章小结 .. .. . .. ... . . .. ......… … ，.... .. ........... ........ .. .… … 17 4. 碳化硅梳齿驱动器的模态分析 4 .1 引言 . . .. .. . . . . . . . . . . . . .. . . . . .. .. . . .