基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究杨权马立-物理学报.PDF

基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究 杨权 马立 杨斌 丁汇洋 陈涛 杨湛 孙立宁 福田敏男 Methodofpickingupcarbonnanotubesinsidescanning electron microscope YangQuan MaLi YangBin DingHui-Yang ChenTao YangZhan SunLi-Ning ToshioFukuda 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,136801(2018) DOI: 10.7498/aps.67 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.67 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2018/V67/I13 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin Yb-In O 纳米管的制备及其对甲醛的优异气敏性能 FabricationandexcellentformaldehydeGassensingproperties of Yb-doped In O nanotubes 物理学报.2016,65(3): 036802 /10.7498/aps.65.036802 高能电子辐照绝缘厚样品的表面电位动态特性 Surfacepotentialdynamiccharacteristicsoftheinsulating sample under high-energy electron irradiation 物理学报.2015,64(8): 086801 /10.7498/aps.64.086801 化学气相沉积法制备石墨烯的铜衬底预处理研究 Thepre-treatmentofcopperforgraphenesynthesis 物理学报.2014,63(17): 176801 /10.7498/aps.63.176801 多孔ZnO微米球的制备及其优异的丙酮敏感特性 Synthesisofporousmicro-sphereZnOanditsexcellent sensing properties to acetone 物理学报.2014,63(17): 176803 /10.7498/aps.63.176803 多台阶器件结构深层表面光刻工艺优化 Theoptimizationoflithographyprocessonthedeepmuti-stepped surface 物理学报.2012,61(20): 206801 /10.7498/aps.61.206801 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 67, No. 13 (2018) 136801 基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究 杨权 马立 杨斌 丁汇洋 陈涛 杨湛 孙立宁 福田敏男 1) (上海大学机电工程与自动化学院, 上海 200072) 2)(苏州大学机器人与微系统中心, 苏州 215021) 3)(北京理工大学机电工程学院智能机器人研究所, 北京 100081) ( 2018 年2 月23 日收到; 2018 年4 月19 日收到修改稿) 碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向, 而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管, 基于扫描电子 显微镜(SEM) 的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作. 本文建立拾取操作中碳纳米管与原子力 显微镜(AFM) 探针间范德瓦耳斯力力学模型, 不同接触状态下范德瓦耳斯力越大越有利于拾取碳纳米管. 在 SEM , AFM