基于DSP的VCM伺服控制系统的研制-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知， 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知， 除了文中特别加以标志和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也 不包含为获得盒匿王些太堂 或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的 同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 基于DSP的VCM伺服控制系统的研制摘 基于DSP的VCM伺服控制系统的研制 摘 要 随着微机电系统(MEMS)技术与纳米加工、测量技术的蓬勃发展，无论 是科学研究，还是工业生产对物理实体几何尺寸的加工和测量精度要求都发展 到了微／纳米级。因此对加工和测量环境也提出了更高的要求，通常需要恒温、 净噪等条件。然而振动干扰无处不在，且很难根本消除，所以低频微振动的抑 制与隔离便成了微／纳米加工、测量中极其重要的一个研究课题。在主动抗振的 研究、应用领域，采用音圈电机的主动吸振器来吸收低频微振动越来越受到人 们的亲睐。因其具有体积小、结构简单、线性力．行程、高速和高加速度等特性， 在精密仪器仪表和微／纳米加工测量领域有着广泛地研究前景。 本论文通过对市场现有隔振产品以及国内外大量科研文献的参考和研究， 采用了双层主动与被动相结合的混合振动隔离系统。在利用动力学模型和 Matlab工具软件分析、仿真了一维被动隔振系统、一维主动隔振系统、双层被 动隔振系统，以及音圈电机用于主动吸振器的效果的基础上，结合本实验室原 有恒温箱和箱体内的测量平台的结构，设计了新的恒温箱总成体的隔振方案， 提高了恒温箱总成体的隔振适应性。 文中针对这种混合隔振系统，设计了Fuzzy．PID控制器，并利用Matlab工 具软件仿真、比较了不同振动干扰输入时，该混合隔振系统与被动隔振系统的 表现。仿真结果表明，该混合隔振系统对低频微振动的抑制、隔离效果明显优 于被动隔振系统。 并以TI的DSP TMS320F2812为运算控制核心，设计了该混合隔振系统的 控制硬件电路。在参考gC／OS—II中的时钟节拍和消息队列思想的基础上，设计 了一种基于系统时钟节拍和消息机制的软件系统，以满足控制系统的实时性要 求。该软件系统完全由C语言编写而成，对硬件的依赖度小，可以很方便地移 植到其他控制硬件和项目中去。 关键词：低频，主动隔振，音圈电机，Fuzzy-PID，Matlab，DSP，时钟节拍，消息机 制 The The Implementation of the DSP．based VCM Servo C ontroller System Abstract As the rapid development of the Micro Electromechanical System(MEMS) technology and the Nano—processing and Nano-measurement techniques，whether scientific or industrial production of the physical entity geometry processing and measurement accuracy requirements arc developed to the micro／nano level． Therefore，processing and measurement environment for a higher requirement， usually need the constant temperature，the net noise and other conditions．However, the vibration is everywhere，and it’S difficult to eliminate it．So，the suppression and isolation of the low--frequency micro··vibration has become one of the extremely important research topics in the field of the micro／nano processing and measurement．In the field of research and application of the active vibration suppression，using the VCM—based active vibration absorber to absorb the low·-frequency mic