基于DSP的X-Y高速扫描及图像构建技术的研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

中文摘要 化学、物理、生命科学、材料科学等的飞速发展对其研究工具的性能要求也 越来越南。以 STM CScanning Tunnelling Microscope) 和 AFM CAtomic Force Microscope) 为代表的 SPM CScanning Probe Microscope) 等是这些领域在原 子量级研究的主要工具，因此提高这些工具的性能能够更好的促进相关领域科学 的进步和技术革新。传统的 STM、AFM 等都是利用在单个扫描周期内电压与时间 成正比的锯前被信号作为压电陶晓扫描管的快轴驱动电脏。如果将正弦驱动电 ? 作为快速扫描驱动信号可以很好地改善压电扫描管在驱动电压下达到最大位移 时运动方向发生改变而造成的机械捕后，从而提高 AFM 的扫描成像速度。这种通 过改变驱动信号而实现在时间上改善扫描速度的方法为研究商速扫描提供了一 个新的途径，启发我们寻找最优的驱动信号。在对四分电板式压电陶瓷拍描管的 特性分析后，利用一个可控的集成锯齿波和正弦驱动信号的驱动系统驱动扫描 管，最终对两种驱动倍号的结果进行比对证明理论的正确性。论文同时研究了在 正弦信号驱动下相应的王维图象构建技术。 本文提出的这种实现高速扫描方案，是利用正弦信号作为 SPM 在快速扫描方 向的驱动信号。根据理论分析，当压电陶瓷管在正弦驱动倍号下到达最大偏移位 置时，其运动速度为零随店将改变运动速度方向井使得 ffi 电陶瓷管反向远功。文 章将给出一套适合于 SPM 的基于 TMS320VC5402 的 DSP 的 X-y 高速扫描聪动信号 发生锚的设计方案井通过对比实验结果说明该改进方法的合理性。 本文主要内容包括: 1.通过研究国内外的在快速扫描方面的成果，总结了影响 AFM 成像速度的 各种因素及其解决方法，井提出了本文的观点: 2. 为了设计适合于本系统的驱动信号，本文研究了正弦信号发生的主要技 术和理论; 3. 采用 DSP 控制的方法设计了 SPM 压电扫描管驱动系统，包括:快轴扫描 倍号发生电路(正弦波和锯齿波发生电路〉、慢轴扫描倍号发生电路: 4. 根据驱动信号的特征设计了系统辅助部分，包括: X ，Y 向偏移驱动、快 轴与慢轴转换控制; 5. 为了整个驱动系统的完整性，本论文组建了高电压放大电路、以及整个 电源系统; 6. 根据理论分析和数学运算研究了适合于正弦驱动信号的主维图象构建投 术; 7. 为了验证设计方案的正确性，本文进行了系统调试和实验结果分析。 关键词z 扫描探针显微镜压电陶侄扫描管 TMS320VC5402 正弦信号发生据 南电压放大器 ABSTRACT As a series of microscopes with nano or sub-nanometer，SPM(scanning probe microscope) symbolized by STM(scanning tunneling microscope) and AFM(atomíc force microscope )play a great role in the development and renovation of Chemistry， Physics，Life and Mat rial Science. Traditionally，saw-tooth voltage of which the output voltage is the direct ratio of the time in one periodic time is used as the fast scan driving signal of PZT scanner of the STM or AFM etc. But if the sine wave signal 18 used as the driving voltage of the of PZT scanner，tbe mecbanical hys阳resis induced by the sudden change of voltage will be decreased obviously. And it is a good way of improving the scanning and ímaging speed of the SPM. It also presents a new idea that some driving signals are more suitable to 由e scanner can be found. 日拙。don 由e study