基于并行像散共聚焦探测图像序列的微结构三维信息萃取-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成 果。据我所知，除了文中特别加以标志和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发 表或撰写过的研究成果，也不包含为获得金目巴工些太堂 或其他教育机构的学位 或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示谢意。 学位论文作者签字：恙冀迳笛筻签字日期：y 11年4月彩日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金目巴王些太堂有关保留、使用学位论文的规定，有 权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅或借阅。 本人授权 金壁王些太堂 可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库 进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文者签名： 撼教 导师签名： 签字日期：沙ff年印月功同 签字同期：如f(年年月荔日 作 }一 3刘 电话：Q铡，岁≥J 7磁 位作讯 论单地 文位址 讯如巨 蟊矫瑚扯舻膨r阉№靠四似考 邮编：2：；印形 桦铺绯～、，=7#日摩卜菇确后儿狂，滔去礅．矸 基于并行像散共聚焦探测图像序列的微结构三维信息萃取 基于并行像散共聚焦探测图像序列的微结构三维信息萃取 摘要 并行共焦成像技术由于高精度高效等诸多优点在微尺寸检测领域得到广 泛应用。论文选题来源于国家自然科学基金项目“基于并行像散共焦探测的微 结构三维形貌测量技术基础研究，针对一种基于像散原理的并行 共聚焦微结构探测系统，研究基于并行光场图片序列的被测微结构三维信息萃 取方法。 论文首先对并行像散光场探测曲线过零点灵敏度的影响因素、以及可能的 提高探测曲线灵敏度的方法进行了研究。从几何光学的角度，建立探测曲线过 零点的灵敏度与柱面镜组参数之间的关系，以探测曲线灵敏度最大为目标获得 了最佳柱面镜参数；对已有的四象限法进行改进，提出了去对角四象限法，通 过仿真，证明了用该方法萃取的探测曲线在过零点处有更高的灵敏度；探讨了 图像的灰度变换方法在进一步提高探测曲线灵敏度方面的可行性，提出通过亮 度调节可以有效地提高探测曲线过零点的灵敏度，仿真证明了这一点，并在实 验中获得了适当的亮度调节参数。与此同时，为了消除探测曲线的不稳定性， 论文对图像噪声和漂移进行了频域分析，提出采用高斯低通滤波的办法滤除图 像的高频噪声，并设计了一款高斯低通滤波器，通过仿真发现其对探测曲线漂 移有一定的抑制作用。 其次为了获得被测微结构精确的三维坐标，论文通过摄取图片上的散斑光 场位置和微透镜阵列的间距计算出被测微结构的横向坐标；为了得到被测廓形 精确纵向坐标，论文设计了定点萃取和浮点萃取两种方法计算各个散斑光场的 四象限信息，然后采用三次样条的插值方法拟合散斑光场探测曲线，并用二分 法萃取探测曲线过零坐标，由于三次样条差值曲线通过采样点，被测物点正焦 位置精度得以保证。基于该方法进行了软件开发，实现了被测物点的三维坐标 萃取，证实了方法的可行与高效。 关键词：像散；并行共聚焦；探测曲线灵敏度：高斯低通滤波；三次样条插值 Extraction Extraction the Three．dimensional Coordinates of the Micro·structure from the Sequence Images Collected from a Parallel Astigmatism Confocal Detecting System Abstract The research is based on the project sponsored by the National Natural Science Foundation of China(NSFC)：“The Basic Research into the Micro．Structural Three．Dimensional Image Measurement Technique Based on Parallel Confocal Detection”．Parallel confocal imaging technology iS becoming widely used in many testing field for its many advantages．This paper studies how to rapidly and accurately get the three-dimensional coordinates of image sequenc