基于并联机构的平面3自由度微动工作台的研究-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

插图清单图1．1并联微动机器人 插图清单 图1．1并联微动机器人 。4 图2．1 3RRR并联机构的结构简图及柔性微动工作台的传动机构 。6 图2-2并联3RRR机构的参数示意图 ．．9 图2．3柔性铰链转动副、移动副和球面副 lO 图2-4柔性铰链的参数示意图 11 图2．5并联3RRR平面柔性微动工作台的一条支链 11 图3-l单个柔性铰链的伪刚体模型及3RRR柔性机构的伪刚体模型 。14 图3-2并联3RRR机构的一条支链 14 图3．3矿。．的两个可能的角 ．16 图3-4并联3RRR机构的参数示意图 19 图3．5柔性铰链的运动参数示意图 21 图3-6复数的几何空间表示及闭合回路示意图 22 图3．7并联3RRR平面柔性微动工作台的运动空间 ¨：27 图3．8在不同的旋转角度下，微动工作台在x．Y平面内的运动范围 29 图4．1微动工作台伪刚体模型的受力图 30 图4．2柔性铰链的几何结构、受力和变形图 32 图4．3微元的几何尺寸及受力矩M单独作用图 ．33 图4．4柔性铰链伪刚体模型的角度变化示意图 35 图4．5微动工作台伪刚体模型的角度变化图 39 图5．1有限元分析的流程图 44 图5．2运动工作台在3个压电陶瓷分别驱动时的应力分析图 。46 图5．3三个压电陶瓷同时驱动最大位移时的应力分析图 ．．47 图5．4不同压电陶瓷驱动下的台面及运动传输机构的位移图 ．。48 图5．5压电陶瓷驱动器及其几何尺寸 49 图5-6 HPV系列压电陶瓷驱动电源 49 图5．7运动传输机构 50 图5．8测量微动工作台微运动的电感测头放置位置示意图及实物图 ．．5l 图5-9压电陶瓷伸长量的感测 5l 图5．10投影仪测量工作台结构尺寸 52 图5．11只驱动PZTl或PZT2时运动工作台的位移随电压变化图 。54 图5．12单独驱动各条支链的运动比较图 ．56 图5．13微动工作台的实验工作空间图 ．57 图5．14理论工作空问与实验工作空间的比较 ．57 表格清单表5．1单独驱动PZT的最大应力 表格清单 表5．1单独驱动PZT的最大应力 46 表5·2混合驱动PZT的最大应力 46 表5·3压电陶瓷的主要参数 49 表5-4 HPV．1C0300A0300的主要参数 50 表5．5 4个电感测微仪的示数表 ．．53 表5-6运动工作台的运动数值表 53 独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果． 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果． 据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外。论文中不包含其他人已经发表或撰写 过的研究成果，也不包含为获得 金筵兰些盔堂 或其他教育机构的学位或证书而使 用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明 并表示谢意。 学位论文作者签名：黑7磷签字日期：刃刁年岁月尹日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金鳇王些太堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留 并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权—金 胆王些盔堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、 缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文． (保密的学位论文在解密