基于光纤布拉格光栅的电镀镍应力在线监测-光学工程专业论文.docxVIP

PAGE PAGE IV 目 录 摘 要 I Abstract II HYPERLINK \l _bookmark0 目 录 III HYPERLINK \l _bookmark1 1 引 言 1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.1 光纤光栅简介 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2 光栅传感技术 1 HYPERLINK \l _bookmark4 1.3 电镀及电镀应力 3 HYPERLINK \l _bookmark5 1.3.1 电镀简介 3 HYPERLINK \l _bookmark6 1.3.2 电镀工艺 4 HYPERLINK \l _bookmark7 1.3.3 电镀应力 5 HYPERLINK \l _bookmark8 1.4 本文研究内容 6 HYPERLINK \l _bookmark9 2.光纤布拉格光栅传感器原理 7 HYPERLINK \l _bookmark10 2.1 光纤布拉格光栅结构 7 HYPERLINK \l _bookmark11 2.2 光纤布拉格光栅传感原理 8 HYPERLINK \l _bookmark12 2.2.1 光纤布拉格光栅传感机制 8 HYPERLINK \l _bookmark13 2.1.2 光纤布拉格光栅温度和应变交叉敏感 10 HYPERLINK \l _bookmark14 2.3 光纤光栅传感器性能指标 11 HYPERLINK \l _bookmark15 3 光纤布拉格光栅应变传感模型12 HYPERLINK \l _bookmark16 3.1 引言 12 HYPERLINK \l _bookmark17 3.2 均匀轴向应力作用下光纤布拉格光栅传感模型 13 HYPERLINK \l _bookmark18 3.3 均匀横向应力作用下光纤布拉格光栅传感模型 15 HYPERLINK \l _bookmark19 3.4 任意正应力作用下光纤布拉格光栅传感模型 16 HYPERLINK \l _bookmark20 4 电镀内应力测试方法17 HYPERLINK \l _bookmark21 4.1 引言 17 HYPERLINK \l _bookmark22 4.2 机械释放测量法 17 HYPERLINK \l _bookmark23 4.2.1 盲孔法 17 HYPERLINK \l _bookmark24 4.2.2 压痕法 18 HYPERLINK \l _bookmark25 4.2.3 悬臂梁法 18 HYPERLINK \l _bookmark26 4.2.4 移层法 19 HYPERLINK \l _bookmark27 4.3 无损测量法 20 HYPERLINK \l _bookmark28 4.3.1 中子衍射法 20 HYPERLINK \l _bookmark29 4.3.2 X 射线衍射法 21 HYPERLINK \l _bookmark30 4.3.3 基于拉曼光谱的微结构应力测试法 21 HYPERLINK \l _bookmark31 4.4 本章结论 23 HYPERLINK \l _bookmark32 5 基于光纤布拉格光栅传感器实时监测电镀应力的实验研究 24 HYPERLINK \l _bookmark33 5.1 引言 24 HYPERLINK \l _bookmark34 5.2 FBG 表面金属化处理 24 HYPERLINK \l _bookmark35 5.3 电镀装置及工艺 26 HYPERLINK \l _bookmark36 5.3.1 实验结果 27 HYPERLINK \l _bookmark37 5.4 结果分析 28 HYPERLINK \l _bookmark38 5.5 本章结论 33 HYPERLINK \l _bookmark39 6 结 论35 HYPERLINK \l _bookmark40 参考文献 36 HYPERLINK \l _bookmark41 致 谢41 HYPERLINK \l _bookmark42 在读期间公开发表论文（著）及科研情况 42 基于光纤布拉格光栅的电镀镍应力在线监测 基于光纤布拉格光栅的电镀镍应力在线监测 PAGE PAGE 1 1 引 言 1.1 光纤光栅简介 光纤最早是利用在通信领域，随着光纤应用技术不断的发展，光纤在传感领 域的应用也走上了历史的舞台，光纤光栅就是其中之一。掺锗光纤具有光敏特性 的特征在1978年被加拿大科学家Hill等人首次发现[1]，光敏特性是材料本身的