基于光学内反射效应的微小角度传感器的研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

摘要角度测量是几何量计量技术的重要组成部分，广泛应用于工业、军事、航 摘要 角度测量是几何量计量技术的重要组成部分，广泛应用于工业、军事、航 空、航海以及通讯等各种领域。随着纳米测试技术的进一步发展，小角度测量 方法的研究成为此领域研究的一项重要内容。现阶段由于运用了各种先进的测 量手段和仪器使测量准确度和精度达到了很高的水平。但是，传统的小角度测 量仪器如激光干涉仪，光电自准直仪等，由于具有体积大，系统复杂，造价昂 贵，对测量环境要求高等特点而很难用于工业高精度在线测量。 本课题就是在这样的背景下提出来的，为了解决上述问题本课题基于光学 内反射效应，设计并试制了一种能够弥补传统测角仪器上述不足的新型小角度 传感器，为下一步设计出多自由度位移检测系统，实现对精密加工机床或坐标 测量机的运动姿态及误差的测量奠定基础。以下是本论文的主要研究内容： (1) 论述了本文研究的目的和意义，查阅了大量的有关技术资料，综合 评述了角度测量技术的国内外现状和发展趋势。 ∞ 从理论上分析了基于光学内反射效应测角法的原理，设计和加工了 测最系统中的关键器件临界角棱镜。 ④ 设计制作了一维角度传感器装置，对其技术性能、工作方法进行了 初步理论实验研究，并对该角度传感器进行校正。 ∽ 提出该传感器的评价方法，对影响检测准确度的各项误差因素进行 系统地分析，尤其是比较全面系统地分析了角度传感器的关键器件 的参数对检测结果的影响。 ④ 对二维角度传感器以及角度检测原理在位移测量方面的应用进行初 步探讨。 关键词：角度测量；内反射；光学差动测量法；临界角棱镜；非线性误差 AbstractAngle Abstract Angle measurement is one of the most important parts in geometry meosLffemen[ fields，which is used broadly in industry,military affairs，astronautics，navigation and conmmnication．With the further development of nano—meusuItrnent techndogy，the study of micro angle measurement methods plays a more and more important role in this field．Now days，measurement accuracy and precision have been achieved a high ]evel by using various kinds of advanced measurement methods and complicated instruments．However，the traditional angle measurement instruments．such as laser interferometer and optic—electronic autocollimator．can hardly be used as angle sensor in on—line measurement because they are bulky，complicated，expensive and demanding strict work eRv主f∞nle{}}． In this paper，we design a new type of micro angle Sensor by using new angle nleasurelrtent method that is different from the traditional OlleS，and can make up for the shortcomings mentioned above．This work prepares for the nex[step of designing a multi—dimension angle and displacement measnrenlent system and幻make a foundation of realizing the measurement of the moving status or errors of precision machining tool Or coordinate measurement machine．Five items listed below show the main work that has been done in this paper． t．The purpos