金电极的激光组装制备研究-物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 7 (2014) 074205 金电极的激光组装制备研究 张然 吕超 肖鑫泽 骆杨 何艳 徐颖 1)(吉林大学电子科学与工程学院, 集成光电子学国家重点联合实验室, 长春 130012) 2)(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 长春 130033) ( 2013 年9 月25 日收到; 2013 年12 月19 日收到修改稿) 本研究提出了利用激光组装金纳米粒子制备金微电极以及光栅电极, 实现了单根碳纳米管的自由电互 联, 制备条件温和, 降低了对碳纳米管的损伤. 对纳米粒子直接加工制备微纳元器件结构可以很好的解决离 子加工存在的质量输运不充分等问题, 且金微纳结构置于空气中不易变质, 具有很好的连续性、完整性和电学 特性, 具有广泛的应用前景. 关键词: 激光加工, 金电极, 碳纳米管 PACS: 42.62.–b, 42.82.Cr, 52.57.Bc DOI: 10.7498/aps.63.074205 秒激光加工制备金属微结构131618 , 利用纳秒激 1 引 言 光干涉制备光栅电极1921 , 可以在常温常压下加 工且不引入光刻胶以及刻蚀气体等, 使得其对功能 近年来, 金属微纳结构在等离子体光学、纳米 22 单元的损伤大大降低 , 且加工位置精确可控, 加 光电子器件13 , 单分子器件如碳纳米管、DNA 等 工形状可设计性强, 加工过程简单、快捷. 由于金纳 46 电互联等领域应用广泛 . 目前, 金属微纳结构 米粒子通常由数十至数千个原子构成, 金属纳米粒 制作常用的方法有紫外光刻、电子束刻蚀、聚焦离 子溶胶比金属离子前驱体溶液在物质浓度上要高 子束刻蚀等711 , 这些方法的工艺过程复杂, 需要 出数百倍, 因此可以很好的解决质量输运问题. 加 较高的真空条件, 还需要引入光刻胶、刻蚀气体等 工金纳米粒子制备的金微纳结构性质比较稳定, 置 有害化学物质, 这些都有可能对碳纳米管或其他功 于空气中不易变质, 且金粒子粒径小, 无聚合物包 能单元有所损伤, 导致器件性能的下降. Kawata 覆, 可以保证加工图案的连续性和完整性, 使其在 等12 以香豆素为光敏剂, 加工银的盐溶液制备了 电学互联方面具有广泛的应用前景. 13 银的三维微纳结构, Xu 等 应用激光加工银的前 驱体溶液, 提出了三维柔性布线技术, 实现了非平 面基底的电学互联. 但是这种基于离子的加工, 离 2 实验部分 子的数量在激光聚焦区域是极其有限的, 一旦耗 2.1 试剂与仪器 尽, 周围的离子很难实现快速运