微惯性技术发展现状与未来趋势讲义.ppt

微机械陀螺国内外研究现状 国外：如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学，德国Daimler Benz公司、Bosch公司，日本Toyota公司，以及土耳其、芬兰等国家，已有商业化产品。 国内：有北京大学、清华大学、复旦大学、哈尔滨工业大学、中科院上海微系统所、中北大学等，都对陀螺进行了深入的研究，取得了一定的成果，但无商业化产品，处于研究阶段。 德国Bosch公司 芬兰赫尔辛基工业大学 土耳其安卡拉中东科技大学 日本Murata Mfg.Co 美国Michigan大学 单位 结构特点 检测机理 灵敏度/分辨率 噪声/漂移 美国 Michigan大学 振动环式 电容检测 25Hz带宽下 分辨率0.5?/s 7.2?/h 日本 Murata Mfg.Co 独立梁式 电容驱动 电容检测 25Hz带宽下 分辨率0.07?/s / 土耳其安卡拉中东科技大学 电容驱动3mm×3mm 电容检测 真空24mV/o/s 大气100μV/o/s / 芬兰 赫尔辛基工业大学 框架式 角振动 电容检测 信噪比51.6dB 德国Bosch公司 双质量块 电磁驱动 电容检测 18mV/?/s 量程为100o/s 国外微机械陀螺的特点与性能指标 北京大学、清华大学、复旦大学，中科院上海微系统所 单位 结构特点 检测机理 灵敏度 噪声/漂移 北大 谐振式 电容检测 22mv/°/s 清华 角振动 电容检测 1.9mV/°/s / 复旦 双质量块 电容驱动 压阻检测 电桥输出0.22μV/°/s / 中科院 双质量块 电磁驱动 电容检测 9.8mV/°/s 中北大学 谐振式 电容检测 0.7mV/°/s 国内微机械陀螺的特点与性能指标 从国内外发展现状来看，微机械陀螺的特点总结如下： 1、机械结构：圆环、独立梁、框架、双质量块 2、驱动方式：电容驱动的多 3、检测方式：电容检测的多 4、使用的材料：都是Si基，灵敏度mV级 5、微机械陀螺应用 微机械陀螺目前精度在10-2°/h左右，还将进一步提高到10-3 °/h。随着先进的微电子技术的发展，预计微机械陀螺的价格将会在一美元到几百美元之间。其低廉的价格使其具有广阔的应用前景，有望在一些新的领域中得到应用，如车载导航系统、天文望远镜、工业机器人、计算机鼠标，甚至是玩具上。 智能手机中 汽车中 空中无线鼠标中 数码相机中 智能机器人中 应用举例 应用前景展望 在MEMS中还存在着大量具有挑战性的力、磁、电等问题需要研究, 对这些问题的有效解决则将会加快推动微机械陀螺仪技术的发展 1、应用比重增大 2、仍然面临挑战 过去几十年内，在汽车工业需求的推动下, 微陀螺技术取得了长足进展，随着对传感器小型化、集成化的应用需求，其在应用领域中的比重将会不断增大。 * * * * * * * * 微惯性技术发展现状与未来趋势 刘志军 2120120999 检测技术与自动化装置 搭讪电话 传感器 信号处理 执行器 MEMS是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制。MEMS是多种学科的交叉融合，应用领域极为广泛，目前已成功地应用于汽车、电子和军事等行业。 美国：微电子机械系统（MEMS） （MicroElectroMechanicalSystem） 欧洲：微系统技术（MST） （MicroSystemTechnology） 日本：微机械（Micromachine ） MEMS简介 微机电系统的尺寸 在微小尺寸范围内，机械依其特征尺寸可以划分为1-10毫米的小型(Mini-)机械，1微米一1毫米的微型机械以及1纳米一1微米的机械。所谓微型机械从广义上包含了微小型和纳米机械，但并非单纯微小化，而是指可批量制作的集微型机构、微型传感器、微型执行器以及接口信号处理和控制电路、通讯和电源等于一体的微电子机械系统(Micro-Electronic Mechanical System-ME MS)或称为微机电系统。 MEMS的特点 1.微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、回應時間短 。 2以硅为主要材料，机械电器性能优良。 3.大量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。 4.集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器数组、微执行器数组，甚至把多种功能的器件集成在一起， 形成复杂的微系统。 5.多学科交叉:MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信