第六章非电量测量技术总结.docVIP

中文word文档库海量word文档免费下载 本文由【中文word文档库】 搜集整理。中文word文档库免费提供海量教学资料、行业资料、范文模板、应用文书、考试学习和社会经济等word文档 第六章 非电量测量 在现代检测技术中对于各种类型的被测量的测量大多数都是直接或通过各种传感器、电路转换为与被测量相关的电压、电流等电学基本参量后进行监测和处理的这样既便于对被测量的检测、处理、记录和控制又能提高测量的精度因此了解和掌握这些非电量的测量方法是十分重要的。 第一节 长度及线位移测量 一、 光栅位移传感器 光栅是一种新型的位移检测元件是一种将机械位移或模拟量转变为数字脉冲的测量装置。它的特点是测量精确度高可达±1μm、响应速度快、量程范围大、可进行非接触测量等。易于实现数字测量和自动控制广泛用于数控机床和精密测量中。 一光栅的构造 所谓光栅就是在透明的玻璃板上均匀地刻出许多明暗相间的条纹或在金属镜面上均匀地划出许多间隔相等的条纹通常线条的间隙和宽度是相等的。以透光的玻璃为载体的称为透射光栅不透光的金属为载体的称为反射光栅根据光栅的外形可分为直线光栅和圆光栅。 光栅位移传感器的结构如图6-1所示。它主要由标尺光栅、指示光栅、光电器件和光源等组成。通常标尺光栅和被测物体相连随被测物体的直线位移而产生位移。一般标尺光栅和指示光栅的刻线密度是相同的而刻线之间的距离W称为栅距。光栅条纹密度一般为每毫米25、50、100、250条等。 图6-1 光栅位移传感器的结构原理 1—标尺光栅 2—指示光栅 3—光电器件 4—光源 二工作原理 如果把两块栅距W相等的光栅平行安装且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ3241 中文word文档库海量word文档免费下载 时这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹这种条纹称莫尔条纹它们沿着与光栅条纹几乎垂直的方向排列如图6-2所示。莫尔条纹是光栅非重合部分光线透过而形成的亮带它由一系列四棱形图案组成如图中的d—d线区所示。f— f线区则是由于光栅的遮光效应形成的。莫尔条纹具有如下特点 1. 莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。当指示光栅不动标尺光栅向左右移动时莫尔条纹将沿着近于栅线的方向上下移动光栅每移动过一个栅距W莫尔条纹就移动过一个条纹间距B查看莫尔条纹的移动方向即可确定主光栅的移动方向。 图6-2 莫尔条纹 2. 莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为 WWB2sin2 6-1 式中的单位为radB、W的单位为mm。所以莫尔条纹的放大倍数为 1WBK 可见越小放大倍数越大。实际应用中角的取值范围都很小。例如当10′时K1/θ1/0.029rad≈345。也就是说指示光栅与标尺光栅相对移动一个很小的W距离时可以得到一个很大的莫尔条纹移动量B可以用测量条纹的移动来检测光栅微小的位移从而实现高灵敏度的位移测量。 3. 莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。莫尔条纹是由一系列刻线的交点组成它反映了形成条纹的光栅刻线的平均位置对各栅距误差起了平均作用减弱了光栅制造中的局部误差和短周期误差对检测精度的影响。 通过光电元件可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号如图6-3所示。其电压 ddffd标尺光栅d指示光栅BffddW/2WθddW/2 中文word文档库海量word文档免费下载 WxUUUm2sin0 6-2 式中U0—输出信号的直流分量Um—输出信号的幅值 x—两光栅的相对位移。 图6-3 光栅输出波形 将此电压信号放大、整形变换为方波经微分转换为脉冲信号再经辨向电路和可逆计数器计数则可用数字形式显示出位移量位移量等于脉冲与栅距乘积。测量分辨率等于栅距。 提高测量分辨率的常用方法是细分且电子细分应用较广。这样可在光栅相对移动一个栅距的位移即电压波形在一个周期内时得到4个计数脉冲将分辨率提高4倍这就是通常说的电子4倍频细分。 二、 感应同步器 感应同步器是利用电磁感应原理把两个平面绕组间的位移量转换成电信号的一种位移传感器。按测量机械位移的对象不同可分为直线型和圆盘型两类分别用来检测直线位移和角位移。由于它成本低受环境温度影响小测量精度高且为非接触测量所以在位移检测中特别是在各种机床的位移数字显示、自动定位和数控系统中得到广泛应用。 一感应同步器的结构 直线型感应同步器由定尺和滑尺两部分组成如图6-4所示。图6-5为直线型感应同步器定尺和滑尺的结构。其制造工艺是先在基板玻璃或金属上涂上一层绝缘粘合材料将铜箔粘牢用制造印刷线路板的腐蚀方法制成节距T一般为2mm的方齿形线圈。定尺绕组是连续的。滑尺上分布着两个励磁绕组分别称为正弦绕组和余弦绕组。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时余弦绕组与定尺绕组错开1/4节距。滑尺和定尺相对平行安装其间保持一定间隙0.050.2mm。 二感应同步器的