等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺对膜基结合-强激光与粒子束.PDF

　第 14 卷　第 1 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 14, . 1　 V o l N o 　2002 年 1 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Jan. , 2002　 文章编号: (2002) 等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺 对膜基结合力的影响 肖志刚, 　林东生, 　张　宏, 　关　颖, 　叶锡生 ( 西北核技术研究所, 陕西 西安 710024) 　　摘　要: 　在一种增强型多弧镀膜装置上, 实现了低温等离子体渗氮同氮化钛硬质膜沉积联合处理 工艺。通过扫描电镜对膜层结构的分析, 氮化钛硬质膜与基体之间具有相适应的力学性能, 并在膜基界 面处形成氮化物的混合层。通过对膜基结合力的定量测试, 证实该工艺大幅度提高了膜基结合力。 　　关键词: 　等离子体发生器; 　渗氮; 　氮化钛膜 　　中图分类号: 　 136　　　　文献标识码: 　 TN A 　　材料在硬度、耐磨、抗腐蚀、疲劳损伤等方面性能的提高是机械工业关注的重要问题。对材料表面进 行改性是提高材料机械性能的主要途径之一。以 T iN , T iC 等为代表的硬质膜层具有硬度高、热稳定性 [ 1 ] 好、抗氧化特性优良、膜层内部组织致密等特性, 越来越多地应用于机械、航天等领域 。强的膜基结合 力有利于提高硬质膜的服役能力和使用寿命。而提高膜基结合力需要硬质膜与基体有相适应的力学性 能或膜基界面能够形成混合层。近几十年来等离子体扩渗技术取得很大成就, 显示出极好的经济价 [ 2 ] 值 。低气压下辉光等离子体表面处理可在较低的表面温度下进行, 能较好地控制工件表面成分、结构 [ 3 ] 和表面与基体间的硬度梯度等性能 。我们在一种增强型多弧镀膜装置上, 实现了低温等离子体渗氮同 硬质膜沉积联合处理工艺。该工艺被证实可大幅度提高膜基结合力, 本文报道该方面的实验研究结果。 1　实验装置 [ 4 ] 　　镀膜实验装置为一种增强型多弧离子镀设备 。该装置结构如图 1 所示, 由真空腔体、工件旋转系 统、等离子体发生器、弧枪、控制系统、电源等部分组成。 F ig. 1　Schem atic diagram of the experim ental setup F ig. 2　Schem atic of the p lasm a generato r 图 1　镀膜实验装置结构示意图 图2　组合式热阴极等离子体发生器结构 　　与一般多弧镀膜设备不同之处在于它加装的热阴极等离子体发生器, 结构如图 2 所示, 其结构采用 组合式热阴极, 由放在纵向磁场中的圆柱形腔体和热阴极组成。阴极筒外套装有可产生纵向磁场的磁场 线圈和聚焦线圈。等离子体发生器机壳处于阳极电位, 安装在真空腔体上。工作时, 由热阴极丝发射热 收稿日期: 　　修订日期: 基金项目: 西北核技术研究所高新技术资助课题