基于倏逝波耦合的雪崩光电二极管的波导研究与器件设计-光电信息工程专业论文.docxVIP

III III 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已 在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本 人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索， 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□， 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 光集成技术领域是发展中的，激烈变化着的领域，相较于硅基微电子技术它还处 于起步阶段，但同时它有非常广阔的发展前景。随着数据、信息通信和交换量的指数 级增加，人们对于超容量、高速率光通信系统的需求日益增加。光集成技术对于大容 量高速光通信系统的发展起至关重要的作用。光电探测器是光通信系统的重要组成部 分，将光集成技术应用于光电探测器，利于提升光电探测器的性能和可靠性，并降低 其制作成本，这对学术界和工业界都具有重要的研究价值。本论文的主要目的即立足 于此，深入研究光电探测器存在的问题并提出解决方案，最终设计出满足高速(≥ 25 Gbit/s)光通信需求的集成光电探测器。 论文中对比了混合集成和单片集成这两种光集成形式，对于光接收机系统，单片 集成的方式有助于缩小器件尺寸并提高器件的可靠性。此外，论文对于光信号耦合进 入光探测器吸收区的方式进行对比分析，基于波导结构的倏逝波耦合方式避免了光探 测器速率和量子效率间相互制约的问题，并有利于光生载流子在光探测器吸收区的均 匀分布，适用于高速光探测器。雪崩光电二极管(APD)由于其内部倍增效应可以获得较 高的响应度，适用于远距离通信系统中微弱信号的探测。依据上述分析，本文核心内 容是高响应度，高速波导型 APD 的设计，此外论文对该波导型 APD 的性能参数，包 括量子效率，响应度，增益带宽积和暗电流进行了仿真，并研究了其制作流程与工艺。 论文首先基于理论分析解析计算出波导型 APD 的波导结构参数，在波导设计过程 中，提出了描述不同模式传输差异的参数——等效折射率的离差平方和(SSDR)，可用 于描述波导中不同传输模式的偏振相关性。基于上述分析，提出了两种新型的波导结 构：包含空气缝的光匹配层和台阶波导。上述波导结构的提出使得波导型 APD 在较小 结构尺寸内实现了低偏振相关性和高效耦合。 论文中提出了低偏振相关性，高效耦合的波导结构，并在此波导结构的基础上提 出一种基于绝缘体上锗(GeOI)的波导型 APD，该单片集成光探测器具有较高的响应度， 较低的暗电流，可应用于 25 Gbit/s 的高速光通信系统，并且其制作工艺与现有 IC 工 艺完全兼容利于以较低的成本实现该器件。 II II 最后在波导偏振相关性和耦合特性研究的基础上，结合波导型硅锗探测器，对其 宽谱范围内的响应度和偏振依赖性进行了研究，发现通过计算找出波导结构的最优参 数，是可以在宽谱范围内同时实现高效耦合和低偏振依赖性。 关键词： 光集成器件 波导雪崩光电二极管 绝缘体上锗(GeOI) 倏逝波耦合 偏振依赖性 PAGE PAGE IV Abstract The field of integrated optics is being exploited. Integrated optics technology is still at the early stage compared to micro-electronics technology, but it has a vast development prospect. The accelerating of information transfer and the explosion of data are creating a high speed and high capacity optical communication system (OCS). It is a key technology to integrate different optoelectronic devices in OCS. The photodetector is an i