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南京航空航天大学硕士学位论文
南京航空航天大学硕士学位论文
基于直线超声电机的仿三维运动平台及其驱动控制系统研究
基于直线超声电机的仿三维运动平台及其驱动控制系统研究
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摘 要
本课题的来源于 2009 年国家自然科学广东联合基金重点项目“精密电子制造装备关键理论 与技术研究”( 基金号:U0934004)。
为了提升我国先进装备制造水平,缩短与发达国家间的差距,研制具有自主知识产权,定 位精度高的新型大行程压电微型运动平台系统具有重要的现实意义。
直线超声电机利用压电陶瓷材料的逆压电效应,将压电材料的微观形变转化为弹性体的微幅 超声振动,再通过定子和动子之间的摩擦作用,转换成动子的宏观直线运动,从而直接推动负 载,它不需要转换机构就能产生直线运动、具有结构简单、响应快、断电自锁和分辨率高等优 点。可替代原有电磁电机,作为高精度定位的运动平台驱动装置。
本文以双变幅杆 V 形直线超声电机为驱动部件,设计了基于直线超声电机仿三维运动平台 驱动与控制系统。该平台由三架一维运动平台叠加而成。驱动控制系统精确控制电机,实现平 台在三个方向上的精确运动。
驱动控制系统以 TI 公司的 TMS320F28335 浮点 DSP 处理器为核心,配以 CPLD 等外围接 口器件和超声电机驱动器,以光电编码器信号作为电机位置反馈,组成了一个闭环的控制系统。 在上位机管控下,依靠运动平台位置的实时采集和反馈信息,实现对运动平台的精确位置和速 度控制。本项目研制的驱动控制器集成在一个控制盒内,使其具有较好的灵活性和便携性。
在构建了驱动控制器硬件的基础上,本文开展对运动平台的驱动控制算法的研究。测试了 该平台控制的位移分辨率,研究了使用了 PID 控制及步进逼近的方法提高平台定位精度的途径。 实验结果表明,在分辨率为 0.5μm/count 的光栅尺下,驱动控制系统能够有效地控制运动平台 的在下 x,y,z 三个方向的运动,其运动行程 80mm×80mm×30mm,位置达分辨率 100nm,控 制精度 2μm。该平台能够作为微操作手,用于生物医学工程等领域。
关键词:运动平台,直线超声电机,驱动控制器,闭环控制系统,PID,生物医学工程
ABSTRACT
The source of this topic is a key project of national natural science foundation of Guangdong Joint Fund named “Study on the key theory and technique of precision electronics manufacturing equipment” (the number of Fund is U0934004)on 2009.
In order to improve the capacity of advanced manufacturing technology and equipment in China, accelerate the industrialization process and short the gap between developed countries and China, it has great practical significance to develop a new piezoelectric micro-motion platform system of high positioning accuracy and large travel with independent intellectual property rights.
The principle of linear ultrasonic motors (USM) is made the micro-deformation of piezoelectric materials into a micro-amplitude ultrasonic vibration of elastic body by the inverse piezoelectric eff
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