三坐标测量机高速测量下的动态综合误差分析探究.pdfVIP

学术 上述几种是比较常见的且影响较大 变形。此外，为 了避免外部环境对测量 当改进结构环和控制两种措施都不 的误差因素，在实际测量过程 中还需根 精度的干扰，应采取相应的隔离措施。 能达到提高测量机测量精度的 目的时， 据具体的测量情况和条件进行分析，并 (2)Metrology frame 方法是另一 可 以使用误差补偿方法。测量机准静态 且这些因素都是相互联系、相互作用的， 种解决结构环变形以及 由结构换变形导 测量的误差补偿和动态误差的软件误差 会对测量机的测量结果产生综合性的影 致的测量误差的方法。这种结构与驱动 补偿都可 以运用这种方法 。 响。 系统的结构环分离并且只对测量系统起 此外，在进行软件误差补偿时，应 2．分析模型的建立 到支撑作用。这样就可 以避免结构环的 先通过测量或模拟对测量机的重要动态 为 了使动态误差能够更加直观地表 力对测量环产生 的影响。但是大多数测 误差进行分析。 述出来，可 以利用数学方法建立数学模 量机只配有一套既包含测量环又包含定 4．结论 型。将三坐标测量机的