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30 5 光 子 学 报Vol. 30 No . 5
2001 5 ACTA PHOT ONICA SINICA May 2001
白胜元 顾培夫 刘 旭 唐晋发
( , 310027)
薄膜滤光片中心波长的稳定性是非常重要的参 . 这不仅取决于膜层的聚集密度,
而且与薄膜材料和基板的折射率温度系数及线性膨胀系数有着紧密的关系. 本文根据滤光
片的实验参 , 分析计算了它们对滤光片中心波长漂移影响的大小, 并提出了改善稳定性的
途径.
光学薄膜; 带通滤光片; 光学稳定性
0
2 2 0 k k
( EB) T iO SiO k , ( n d )
. , ,
300 , . A k
. , k ,
, ( = 1, 2, ) .
m k m
, , ,
. , . , 1
P , , ,
. .
1
. ,
, T iO2/ SiO2
2 3
( IAD) , ( RIP) . ,
( IBS) , , , 0. 92 ,
, , , 10nm
1. . ,
, ,
, 110- 2 nm/ .
- 3
. 110 nm/ .
, 1,
1
. ,
3
, ( HLH2LHLHL ) , H L
5, 6
. T iO2 SiO2 , 1mm 20mm
K 9. ,
= + , ,
+ . , H L ,
7 .
m ,
0 k k
= ( / ) A ( 1)
2 2
k = 1 , T iO SiO .
0 , k= ( / 0) ( k k)
n d , 250 ,
收稿日期: 2000-10-17
5 . 577
310- 3
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