基于偏振光的集成迈克尔逊干涉仪关键技术研究-仪器仪表工程专业论文.docxVIP

合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业 合肥工业大学 本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业 大学硕士学位论文质量要求。 答辩委员会签名(工作单位、职称) 主席：合肥工业大学，教授， 翻∥ 委员：安徽理工大学，副教授， 以穗 合肥工业大学，副教授， 么I k久 ∥ I 合肥工业大学，副教授， 历杉 导师： 夏表生 万方数据 学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所 学位论文独创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所 取得的成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的内容外，论文中不包含 其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得金鲤工些盔堂 或其他 教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本 人已在论文中作了明确的说明，并表示谢意。 学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关。 学位论文作者签名： 互萌砖 签名日期：声肜年平月弦日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金筵工些太堂有关保留、使用学位论文的规定， 即：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部门或机构送交 论文的复印件和电子光盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权金目墨工业去堂可 以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，允许采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文作者签名：土两玮 指导教师签名： 耍弘 签名日期： 乃坫年争月矽日 签名日期： 刃形年年月印日 论文作者毕业去向 工作单位： 联系电话： E．mail 通讯地址： 邮政编码： 万方数据 致谢时光荏苒，光阴似箭，三年的硕士学习生活已经接近尾声，处在人生 致谢 时光荏苒，光阴似箭，三年的硕士学习生活已经接近尾声，处在人生 的十字交口处，心中思绪万千，回想这三年的往事，历历浮现在眼前，感 激之情油然而生。 师者，传道授业解惑也。我的导师夏豪杰副教授在科研中，在生活中， 在工作中无不担任了师者的重要角色。在研究生学习和生活中给予了我莫 大的包容和鼓励，他对于科研和工作极大的热情，深深感染了我，同时， 他为我指明了很多生活和工作中的方向，在老师的身上所学到，足以帮助 我在今后的工作中找到奋斗的动力。在研究生生活即将结束之际，谨向夏 老师致以崇高的敬意和衷心的祝福，祝愿老师桃李满天下。 科研中所接触最多的当然是同一课题组的兄弟姐妹，感谢师兄师姐平 日中对我的指导和照顾，感谢同门对我的理解和帮助，感谢师弟师妹们对 我的支持和理解，祝愿同门事业有成，祝愿师弟师妹们科研有果，顺利毕 业。 生活中感谢我的父母和亲人，是他们的无止境的包容与陪伴，给了我 前进的动力；感谢我的男友汤泽兵，在我失意的时候鼓励我，在我快乐的 时候与我分享! 三年的生活轨迹和预计的相差甚远，但是我仍然在成长，在进步，感 谢我的母校合肥工业大学，陪伴我走过了三年的时光，在这里，我认识了 我的导师和我的同学，是他们让我不断成长，在今后的工作中，希望自己 不负众望，努力回报大家的期待。 谢谢各位，祝身体健康，工作顺心! 作者：王丽玮 2016．1．30 万方数据 摘要近年来，随着科技的不断发展，在精密机械、集成电路生产等许多精密加工 摘要 近年来，随着科技的不断发展，在精密机械、集成电路生产等许多精密加工 工业领域对测试精度的要求越来越高。因此，研究测试系统中的关键技术有助于 更好地理解精密测量。本文围绕单频激光干涉仪关键技术展开研究，其主要研究 内容如下： 阐述了基于偏振光的集成迈克尔逊干涉仪系统的原理与方法。首先根据迈克 尔逊干涉原理分析了单频激光干涉仪结构；其次基于琼斯矩阵理论，讨论了正交 偏振激光干涉仪数学模型，最后详细分析了整个光路系统的干涉原理。 搭建了单频偏振激光干涉仪系统的光路系统部分和电路系统部分。采用光电 探测器BPW34设计了光电转换电路，通过对称布置光电探测器的位置减少直流 漂移对测量信号的影响。介绍了系统中误差的来源并采用以Heydeman模型为基 础的在线正交信号误差校正方法，利用LabVIEW软件对测量信号的误差进行修 正。 测试了系统输出的干涉信号，通过测试说明本系统可以实现纳米分辨率。并 且从光路、电路以及外界环境三个方面，进行了系统误差分析。 关键字：偏振光；单频干涉仪：误差修正 万方数据 ABSTRACTIn ABSTRACT In recent years，with the continuous development of science and technology, precision machinery,production of integrated circuit