多读数头位移传感器原理及误差谐波修正-工具技术杂志社.PDF

２０１８年第５２卷Ｎｏ．７ １４９ 多读数头位移传感器原理及误差谐波修正 赵婷婷，王先全，王恋，文成杨，方怡 重庆理工大学；时栅传感及先进检测技术重庆重点实验室 摘要：为提高传感器的精度，提出了一种构建多读数头位移传感器的方法，在不增加刻线槽的情况下，可大幅 提高传感器的对极数，该传感器误差成分比传统传感器的谐波误差成分少，且谐波误差幅值小，有利于提高传感器 的精度。详细研究了传感器误差组成和误差谐波修正法理论，提出了对极内单点采样的误差修正方法。与对极内 多点采样修正方法相比，误差修正效果一致，但采样点数较少。通过试验证明，对极内单点采样误差修正方法可提 高传感器的精度。 关键词：多读数头：对极数：谐波修正：对极内单点采样：对极内多点采样 中图分类号：ＴＧ８７；ＴＨ７４１　　　　　　文献标志码：Ａ ＰｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆＭｕｌｔｉｐｌｅＲｅａｄｉｎｇＨｅａｄＤｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔＳｅｎｓｏｒａｎｄ ＥｒｒｏｒＨａｒｍｏｎｉｃＷａｖｅＣｏｒｒｅｃｔｉｎｇ ＺｈａｏＴｉｎｇｔｉｎｇ，ＷａｎｇＸｉａｎｑｕａｎ，ＷａｎｇＬｉａｎ，ＷｅｎＣｈｅｎｇｙａｎｇ，ＦａｎｇＹｉ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒ，ａｍｅｔｈｏｄｏｆｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｎｇｍｕｌｔｉｒｅａｄｉｎｇｈｅａｄｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｓｅｎｓｏｒｉｓｐｕｔｆｏｒｗａｒｄｔｏｇｒｅａｔｌｙｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｐｏｌｅｎｕｍｂｅｒｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈｏｕｔｉｎｃｒｅａｓｉｎｇｔｈｅｔｒａｃｋｇｒｏｏｖｅ．Ｔｈｅｅｒｒｏｒｃｏｍｐｏ ｎｅｎｔｏｆｔｈｅｍｕｌｔｉｒｅａｄｉｎｇｈｅａｄｉｓｌｅｓｓｔｈａｎｔｈｅｈａｒｍｏｎｉｃｅｒｒｏｒｃｏｍｐｏｎｅｎｔｏｆｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒ．Ｔｈｅｈａｒｍｏｎｉｃｅｒｒｏｒａｍｐｌｉ ｔｕｄｅｉｓｓｍａｌｌ，ｗｈｉｃｈｉｓｈｅｌｐｆｕｌｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒ．Ｄｅｔａｉｌｅｄｓｔｕｄｙｏｆｅｒｒｏｒｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｎｄｅｒｒｏｒｈａｒｍｏｎｉｃ ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｔｈｅｏｒｙ．Ｐｒｏｐｏｓｅｄｓｉｎｇｌｅｐｏｉｎｔｓａｍｐｌｉｎｇｉｎｐｏｌａｒｉｔｙｅｒｒｏｒｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ．Ｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｔｈｅｍｕｌｔｉｐｏｉｎｔｓａｍ ｐｌｉｎｇｉｎｐｏｌａｒｉｔｙｅｒｒｏｒｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ，ｔｈｅｅｒｒｏｒｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｅｆｆｅｃｔｉｓｔｈｅｓａｍｅ，ｂｕｔｔｈｅｎｕｍｂｅｒｏｆｓａｍｐｌｉｎｇｐｏｉｎｔｓｉｓｌｅｓｓ． Ｔｈｒｏｕｇｈｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ，ｓｉｎｇｌｅｐｏｉｎｔｓａｍｐｌｉｎｇｉｎｐｏｌａｒｉｔｙｅｒｒｏｒｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｃａｎｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｕｌｔｉｍｅａｓｕｒｉｎｇｈｅａｄ；ｎｕｍｂｅｒｏｆｐｏｌｅｐａｉｒｓ；ｈａｒｍｏｎｉｃｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ；ｓｉｎｇｌｅｐｏｉｎｔｓａｍｐｌｉｎｇ；ｍｕｌｔｉｐｏｉｎｔｓａｍ ｐｌｉｎｇ 一般来讲，光栅、球栅、容栅、时栅、感应同步器 　引言 等栅式位移传感器，对极数越多精度越高。为了进 传统的传感器均为正弦或者余弦信号激励，表 一步提高传感器的精度，采用多读数头和多读数头 达式为激励信号 Ｕ＝Ｕｓｉｎ（ｔ），输出感应信号为带 误差修正方法，可以大幅提高传感器精度，这要求多 ｄ ω 有空间角度 的正弦信号［１－４］，表达式为感应信号 读数头一致性和多读数头精密安装，实际中很难形