光波导光学相控阵扫描性能分析与优化-光学工程专业论文.docxVIP

学校代码： 10701 分 类 号 ： TN25 学号： 1205122204 密级： 公开 西安电子科技大学 硕士学位论文 光波导光学相控阵扫描性能分析与优化 作者姓名：刘 欢 一级学科：光学工程 二级学科：光学工程 学位类别：工学硕士 指导老师姓名、职称：孙艳玲 副教授 提交日期：2014 年 12 月 Scanning Performance Analysis and Optimization of Waveguide Optical Phased Array A thesis submitted to XIDIAN UNIVERSITY in partial fulfillment of the requirements for the degree of Master in Optical Engineering By Liu Huan Supervisor: Prof. Sun Yanling December 2014 西安电子科技大学 学位论文独创性（或创新性）声明 秉承学校严谨的学风和优良的科学道德，本人声明所呈交的论文是我个人在 导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注 和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果； 也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表 示了谢意。 学位论文若有不实之处，本人承担一切法律责任。 本人签名： 日 期： 西安电子科技大学 关于论文使用授权的说明 本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究 生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属于西安电子科技大学。学校有权 保留送交论文的复印件，允许查阅、借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分 内容，允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证，获得学位 后结合学位论文研究成果撰写的文章，署名单位为西安电子科技大学。 保密的学位论文在 年解密后适用本授权书。 本人签名： 导师签名： 日 期： 日 期： 摘要 摘要 西安电 西安电子科技大学硕士学位论文 摘要 光波导光学相控阵以其分辨率高、扫描速度快、驱动电压低、成本低等显著优 点，克服传统相控阵技术的不足，在激光雷达、扫描、制导、成像等诸多领域得到 了越来越广泛的认同与应用前景。但由于制作工艺的限制以及光波导阵列的设计 缺陷，导致辐射光场扫描光束光学质量降低，从而降低了衍射效率和扫描精度。因 此，扫描光束质量优化办法的提出，对于光波导光学相控阵技术的进一步发展具有 重要的理论及现实意义。 论文详细介绍了光波导光学相控阵的结构组成和工作原理，在光栅衍射模型 的基础上，考虑波导内传输中的耦合作用，基于耦合模理论讨论耦合作用对远场输 出的影响；使用光束传输法建立耦合模型，分析讨论不同物理参数对光波导光学相 控阵的光束扫描特性的影响，得出单元数 N 影响扫描光束分辨率以及消光系数 K 影响扫描光束光功率的结论。 在受到微电子工艺水平限制的情况下，论文提出光波导阵列组合的方法增加 光波导单元数 N，对几种不同的组合方式进行理论分析及模拟，通过搭建实验平台 得到有效的实验数据，验证了此方法的可行性。针对组合引起的扫描光束条纹化问 题，提出不均匀间距分布的优化方法，使其得到明显改善。 最后，由于高折射率衬底环境引起的光功率泄漏，导致出射效率降低、扫描光 束光功率小不利于接收，提出增加隔离层破坏高折射率衬底环境的优化方法，在理 论上有效降低光功率损耗，提高扫描光束光学性能。 关 键 词：光学相控阵， 光波导阵列， 光波导组合， 扫描性能优化 论文类型：应用基础研究类 I PAGE PAGE VI III III AB ABSTRACT 西安电 西安电子科技大学硕士学位论文 ABSTRACT Waveguide optical phased arrays have many significant advantages, which can overcome the lack of traditional phased array technology, such as their high resolution, scanning speed, low driving voltage, low cost and so on. They can be used in laser radars, scanning, guidance, imaging, and recognized with a bright future. However, the limita