新型还原炉流场温度场的模拟研究.PDF

UVOZ 年 ^ 月 化; 学; 工; 业; 与; 工; 程 第 YY 卷 第 R 期 ; 91F\UVOZ (-!H=(.;=8?@GAS;.8?;!8C=8!!S=8C T%F\YY 8%\R ;;%## OV\OYYXY WL\#55’\OVVR\PXYY\UVOROOZV 新型还原炉流场温度场 的模拟研究 $ 王晓静 !张; 灿 !黄益平 !陈; 舟 !陆晓咏 !徐义明 !O\ YVVV^U +U\ UOVVRZ 天津大学化工学 院 天津 中建 安 装 工程 有 限公 司 南 京 摘要 %为适应 太 阳能产业 的发展需求 #提 出了一种 结构新 型 的 多晶硅 还原 炉 #新 型还原 炉在 传统 西 门子还原 炉 的基础 上进行 了多处的 改进 )O 增设 了外壁 面 高度 刨光 的热 管 (U 在 炉膛 内部 中央 出 气 口处增设 了套筒 (Y 增加 了 Y 个 内插进 气 口’ 并 采用 计 算流体 力学方法研究了 该型 还原 炉 内的 速度 场和 温度 场 ’ 速度 场模 拟 结果发 现 增 设 的套筒 结构起 到 了收 集还原 炉顶部气 体 的作 用使 气 体 更好 的通过底盘 的中央 出气 口散出 (温度 场模 拟 结果发 现 内插 进 气 口促进 了还原 炉顶部气 体 的 及 时更新 #高度 刨光的热 管表 面成功反 射硅 棒 所辐射 的热量 #降低了 还原 炉环 境 温度 #有 效 的 防止 了粉末硅 的生成 更加 #更加有 利 于硅 棒 的生 长 ’ 关键词 %多晶硅 还原 炉 (温度 场 (速度 场 中图分 类号 %AfO^X;; 文献标志码 %.; 文章编 号 %OVVR cPXYY #UVOZ $VR cVVXZ cVX O#U%$,(’.%4*4M(4E’*+8#’.O/’*-#/%*’ 6#E N4(0/0-.’((%*#U%(%4*;#+,.%4*M,/*’# K7’40#7%L#’4 ,)7’4(7’ $ -17’4#b#’4 ()*’ ,)%1 1 0#7%D%’4 01 #3#’4 !O\(%FF*4*%+()*3#67F!’4#’**#’47’ A*6)’%F%4D%+A#7’ 9#’ @’#d*5#$D A#7’L#’ YVVV^U ()#’7+ U\()#’7(%’5$16$#%’ =’5$7FF7$#%’ !’4#’**#’4(%\$\ 87’L#’4UOVVRZ ()#’7 BC-./’.#=’ %*$%3**$$)**37’ +%$)**d*F%b3*’$%+$)*5%F7#’15$D $)#5b7b*b%b%5* 7 ’*[$Db*%+b%FD6D5$7FF#’*5#F#6%’ *16$#%’ +1’76*\A)*’*[*16$#%’ 37B* 5*d*7F#3b%d*3*’$5%’ $)*I75#5%+$)*$7#$#%’7FG#*3*’5*16$#%’ +1’76*# O . )*7$b#b*5[#$) )#4)FDb%F#5)* %1$5#* +76*5+ U . 75F**d*#’5#*$)*+1’76*7$$)*6*’$7F%1$F*$+ Y . $)**#’$*b%F7$#%’ #’F*$5\A)*d*2 F%6#$D7’ $*