压电石英晶片扭转效应理论研究与验证-机械工程学报.PDF

第 40 卷第 8 期 机 械 工 程 学 报 Vol.40 No.8 2004 年 8 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Aug. 2 0 0 4 压电石英晶片扭转效应理论研究与验证* 高长银 孙宝元 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连 116024) 摘要：从各向异性弹性理论和麦克斯韦电磁理论出发，较系统地探讨了圆形压电石英晶片扭转效应理论，得出了 扭转应力场与非线性极化电场分布规律，并采用有限元法求得了极化电荷电场在压电片内的分布。根据理论分析， 用分割电极法有效地在压电片表面布置了检测电极，理论与试验结果均表明电极检测的极化电荷量与外转矩成线 性关系，理论与试验基本符合。这些研究为新型转矩传感器与测力仪的开发奠定了必要的理论基础。 关键词：压电 扭转效应 非线性极化 各向异性 中图分类号：O738 体现的是将应力、应变张量同电极化强度和电场强 0 前言* 度矢量联系在一起的线性机电藕合效应。对压电石 英扭转效应分析主要考虑压电晶片由扭转产生的应 压电石英具有良好的静、动态特性及稳定性， 力，通过压电方程得到电极化强度的过程。 从而被广泛应用于航空、航天、交通运输、冶金、 1.1 扭转应力分析 机械制造、工业控制、自动检测和计量等领域。在 研究对象为一个由直线型均匀各向异性材料石 这些应用中主要采用石英的纵向、横向和剪切压电 英组成的圆片，其中一个端面固定，另一端面作用 效应，而对它的扭转效应研究较少。 于一个转矩，转矩方向与端面方向一致。将笛卡儿 早期扭转研究主要集中在压电陶瓷材料组 坐标系圆点选在固定端面中心，z 轴沿圆片的轴线 成、扭转换能器与超声波电动机等方面。相继开 发出了压电复合材料并组建成平面型、圆柱型和 方向，x 和y 轴可在圆片内任意放置。 [1] [2] 根据各向异性弹性理论，压电石英晶片扭转应 拼接型扭转压电器件 。M.Takeshi 等 用多层压 电扭转执行器制造出一个平滑冲击扭转电动机。 力求解[10]可归结为在边界条件式(3) 、(4)下寻找满 在研究超声波电动机时，提出了夹心式扭转振子 足微分方程式(1)、(2)的平面应力函数F(x ,y )和扭转 的概念，它由几个压电陶瓷片组合成单层振子， 应力函数φ (x ,y ) 的问题。 在每个压电片内产生纵向极化，整体在外部呈现 L F +L φ 0 4 3 纯扭转振动[3,4] 。而后又相继开发出了纵—扭复合 M ⎛s2 s2 ⎞ + φ =−2ϑ+ t 34 + 35 (1) L F L ⎜