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中国科学技术大学硕士论文
中国科学技术大学硕士论文 摘要
摘 要
奉文开展了光纤探针扫描成像技术在自聚焦透镜和其它微光学透镜光斑检测中的应 用研究,开发出r一套完整的光学微透镜光斑扫描成像系统,受到了使用者的好评。论 文系统地介绍了光纤扫描成像原理、光纤探针的制备和光学性能分析、仪器各组成部 件、控制软件的设计以及程序编制。以日本NSG公百:I生产的SLW一2 0型微型自聚焦透镜为 样品,测得r其多幅光斑图像,并且对测量分辨率、光斑尺寸和工作位置函数关系、光 斑任意截面的能量分布以及影响测量精度的若r因素进行了分析。
微型光学透镜光斑扫描成像系统最为关键的技术之一便是光纤探针的制作,因为它 直接决定着系统的分辨率水半和光学信号的传输效率,本文在总结、分析传统光纤探针 的制备方法之后,提出了一种新颖的光纤探针制作方法丽步成型法,运用此法在实验中 取得了较好效果。
测量系统的控制软件采用VC语言编写,软件突出图像处理和分析功能,引入了水平 矫正、FFT、伪三维显示以及光斑任意截面能量分布等分析功能,以更加方便、有效地 对微型光学透镜的光斑进行分析。
论文最后给出了我们测量所得的一系列光斑图像,并运用控制软件的图像处理和分 析功能对其进行了初步分析,特别描述了微型自聚焦透镜的焦面光斑,得出了一些有意 义的结论。实验表明,测量结果与理论水平基本吻合。
关键词:光纤探针、扫描成像、光斑测量
AbstractIn
Abstract
In the thesis we performed an applied research by using fiber probe technique in the optical spot uleasurement of the Gradient—Index Lens and other micro—optics 1ens As a result we su(·cessfully developed an optical spot scanning imaging system of optical micro— lens The instrument was highl3’praised by the user The basic principle of measuring system.the mannfacturing methods and fiber probe optical property analysis)main com— ponents of tile measuring system and the design and programming of control soft,a’are are systeinaticall37 introduced in the thesis We obtained series of optical spot images by saID.一 piing SLW一2 0 SELFOC micro—lens manufactured by Nippon Sheet Glass(NSG),and we analyzed tile measuring resolution,the functional relation between spot size and working distance.the energy distribution of arbitrary cross section and the factors likely to influence
system measuring precision.
The manufacturing precision of fiber probe is the key technology of the scanning imag- ing system,for its optical parameters determined the system optical resolution and optical wansmission efficiency.After generalizing and analyzing twe traditional optical probe man— ufacturing methods,the thesis provided a novel method,two—step method,to manufacture the optk’al fitter probe It proved to be a good one in laboratory.
The control software Was programmed by using VC Th
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