激光打孔系统中多棱镜扫描非球面聚焦系统的研究-光学工程专业论文.docxVIP

研究生优秀毕业论文 万方数据 万方数据 学位论文版权使用授权书江苏大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、中国学术期刊(光盘版)电子杂 学位论文版权使用授权书 江苏大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆、中国学术期刊(光盘版)电子杂 志社有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、缩印或其他复制 手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致，允≯f：论文被查阅和借阅， 同时授权中国科学技术信息研究所将本论文编入《中国学位论文全文数据库》并向社会提 供查询，授权中国学术期刊(光盘版)电子杂志社将本论文编入《中国优秀博硕士学位论 文全文数据库》并向社会提供查询。论文的公布(包括刊登)授权江苏人学研究生院办理。 本学位论文属于不保密矿 学位论文作者签名：落乏荔 指导教师签名：≥亨b l一』、 仞k年6月加日 2e伍年6其幻Et 万方数据 万方数据 江苏大学硕士学位论文摘要 江苏大学硕士学位论文 摘要 当今打孔行业对孔的形状和尺寸要求越来越高，而打出规则的小尺寸圆孔又比较困难， 传统的微孔加工工艺越来越难以满足厂家加工的特殊要求。激光打孑L机可由计算机进行操 作控制，通过光机电一体化实现自动化打孔，目前国内外已经有很多种打孔机。但是激光 束一般是光强非均匀分布的高斯光束，能量不均匀会引起加工工件局部受热不均从而影响 激光与物质的相互作用，这个特性限制了激光的广泛应用。因此需要对光束进行整形来拓 展激光打孔技术的应用领域，提高光束质量进一步提高激光的应用水平。 为了提高激光打孔生产质量，本文提出了一种多棱镜旋转扫描非球面透镜聚焦在线打 孔方案。分析了激光加工的原理和激光打孔过程，根据激光与物质相瓦作用机理设计激光 打孔的系统方案；研究光束的传输特性和非球面面型参数的求解方法，设计适合打孔系统 用的光束整形的透镜。根据整体方案对光学系统的光路进行模拟设计，针对模拟结果进行 分析比较球面镜和非球面镜的聚焦光斑，并分析激光各参数对打孔质量的影响。 研究结果表明：激光打孔加工工艺中，激光器、聚焦透镜的选择都对孔的质量有直接 的影响。轴外像差和扫描速度失真会引起聚焦光斑的线性畸变，非球面镜可以通过改变镜 面参数避免激光在透镜介质中产生脉冲展宽、波前畸变的情况。通过实验验证和理论分析， 所选取单片非球面聚焦透镜对光束有较好的聚焦整形作用，在扫描系统中线性误差可控制 在0．5％内，有效降低了扫描系统内的线性畸变，提高了聚焦光斑的质量，打孔大小形状 满足生产要求。孔的尺寸随着脉冲能量的增加而增加；孔的深度随着脉冲数量的增加而增 加；随着脉宽的增大，激光能量密度减小，孔的深度和直径减小；在离焦量为负值的情况 下得到的孔径较大，当离焦量为正值的情况下得到的孔径较小。该研究能提高生产质量和 效率，作为一种先进的技术，多棱镜扫描非球面聚焦激光打孔系统为工业生产提供了技术 保障。 关键词：激光加工，打孔，多棱镜，非球面透镜，光束整形 激光打孔系统中多棱镜扫描非球面聚焦技术的研究 II ABSTRACTToday，the ABSTRACT Today，the demand of the shape and size of the hole is higher and higher,and it-s difficuIt to punch small size round holes，the traditional microporous processing technology is difficuIt to meet the special requirements of factory processing．As one of the main application field for laser processing，laser drilling is the first to achieve practical application of laser processing technology．There are a lot of kinds of punching machine both in China aJld abroad．1aser drilling machine can be controlled by computer，automatic punching through optical—mechanical---electrical integration．But light intensity in the laser beam is usuallv nonuniform distribution of Gaussian beam，the partial uneven heating unev