激光陀螺反射镜基片表面疵病暗场散射显微检测系统研究-光学工程专业论文.docxVIP

硕士学位论文 硕士学位论文 激光陀螺反射镜基片表面疵病暗场散射显微检测系统研究 目 录 摘j要．．．．．．．．．．．． ．．． ．．． ．．． ．．．．． ．．．．．．．．．．．． I Absl}l?act． ．．． ． ．．．． ．．H 1绪论 ． ． ． ． ． ． 1 1．1激光陀螺反射镜 ．．1 1．1．1激光陀螺 1 1．1．2激光陀螺反射镜基片 2 1．2激光陀螺反射镜基片表面疵病 ．．3 1．2．1表面疵病简介 3 1．2．2反射镜基片表面疵病对激光陀螺锁区的影响 3 1．2．3表面疵病的评价标准 5 1．3表面疵病检测技术的发展现状 一6 1．3．1成像法 7 1．3．2能量法 ．7 1．4本文内容 一8 1．4．1本文主要工作 8 1．4．2本文的结构安排 9 2激光陀螺反射镜基片表面疵病检测系统要求与设计原理 ．10 2．1反射镜基片基本结构与加工检测精度要求 10 2．1．1反射镜基片的基本结构 ．1 0 2．1．2反射镜基片表面加工检测精度 ．10 2．2反射镜基片表面疵病检测精度要求的理论分析 1 1 2．2．1表面粗糙度对背向散射率影响的理论分析 ．1 1 2．2．2表面疵病对粗糙度影响的理论分析 ．．13 2．2．3表面疵病对表面背向散射率影响的数值模拟 ．14 2．2．4表面疵病检测精度 ．16 2．2．5系统检测要求 ．1 7 2．3本文所用表面疵病检测系统原理 17 2．3．1表面疵病的暗场散射显微成像检测原理 ．17 2．3．2暗场散射显微成像检测的优缺点分析 ．19 2．3．3激光单向光源显微成像拼接检测系统 ．21 2．4本章小结 26 III 万方数据 目录 目录 硕士学位论文 3表面疵病扫描成像系统的设计 ．．27 3．1图像采集系统 27 3．1．1 CCD数字成像模块的选取 27 3．1．2图像自动采集程序 ．29 3．2照明系统 29 3．2．1激光光源相对其他光源的优势 ．29 3．2．2激光光源参数选择 ．30 3．2．3表面疵病散射光成像特征分析 ．3 1 3．3显微成像系统 32 3．3．1显微物镜设计要求分析 ．32 3．3．2显微物镜的设计方案 ．．33 3．3．2显微物镜的设计与分析 ．34 3．4扫描运动定位系统 36 3．4．1扫描定位结构的参数选取 ．36 3．4．2扫描运动分析 ．37 3．4．3扫描定位系统校正 ．41 3．4．4步进电机控制系统 ．42 3．5系统实验平台介绍 44 3．6本章小结 45 4表面疵病图像处理系统 46 4．1疵病图像预处理 46 4．1．1杂散光特征分析 ．47 4．1．2杂散光的滤除 ．48 4．2表面疵病图像的子孔径拼接 49 4．2．1基本的表面疵病图像子孔径平移拼接 ．49 4．2．2基于疵病特征的子孔径拼接 ．50 4．2．3全口径图像拼接 ．50 4．3表面疵病全口径图像的旋转融合 53 4．3．1疵病图像旋转 ．．54 4．3．2全口径疵病图像的配准 ．57 4．3．3全口径疵病图像的融合 ．60 4．4表面疵病特征提取与基片合格判断 61 4．4．1表面疵病特征提取 ．61 4．4．2反射镜基片表面疵病合格判断 ．62 IV 万方数据 硕士学位论文 硕士学位论文 激光陀螺反射镜基片表面疵病暗场散射显微检测系统研究 4．5系统实用性分析 64 4．5．1系统软界面件介绍 ．64 4．5．2系统处理结果 ．64 4．4．3系统可靠性分析 ．66 4．6本章小结 67 5结论与展望 68 5．1结论 68 5．2对未来的展望 68 致 谢 70 参考文献 ．71 V 万方数据 硕士学位论文 硕士学位论文 激光陀螺反射镜基片表面疵病暗场散射显微检测系统研究 1绪论 1．1激光陀螺反射镜 1．1．1激光陀螺 环形激光陀螺仪(Ring Laser Gyroscope，简称激光陀螺)是一种光电惯性传感器， 当前被广泛应用于导弹、火箭、飞机、船舶、鱼雷以及各种航天仪器等的惯性导航系统 中，用来精密测量旋转角速度和角度，进而可以建立惯性导航三维坐标系，与惯导系统 中的加速度计一起实现三维连续的定向与定位【l】。相对于无线电导航、卫星导航等导航 方式，惯性导航不需