超音波原子间力显微镜.PDFVIP

超音波原子間力顕微鏡 ・ 1 超音波原子間力顕微鏡の原理 ・ ２ 共振周波数追尾型UAFM ・ ３ 接触弾性による共振周波数の変化 ・ ４ CFRPへの適用 ・ 5 共振周波数とQ値のマッピング ・ ６ 薄膜構造の各部における共振スペクトル ・ ７ 薄膜構造における共振周波数マッピング ・ ８ ナノスケール欠陥（転位）の観察 ・ ９ 転位における周波数マッピングと観察位置の模式図 ・ 10 空隙の開閉による非線形応答を示す転位近傍の共振スペクトル ・ 11 空隙（ギャップ）の計測原理 1 超音波原子間力顕微鏡の原理 超音波原子間力顕微鏡は、振動モードによるカンチレバーの使い分けによっ て、高精度な凹凸像と試料の弾性変形の映像を両立させる。図に示すように， 柔らかいカンチレバーも共振時には慣性力を受けるので、試料変形能力が向 上する。高次の共振モードでは，節の形成によりカンチレバーの実効長が減 少するので見かけのバネ定数が増加し，弾性変形能力が一層向上する。この 結果，凹凸のある試料でも，正確な凹凸映像と，弾性映像を両立できる。 k 柔軟なカンチレバー 探針 カンチレバー AFMモードでは 正確なトポグラフィ測定 形状と物性の詳細比較を実現 (a) AFM カンチレバーの超音波振動 慣性力による試料の変形 金属やセラミクスの 内部欠 (b) たわみ1次共振 弾性特性・内部欠陥評価 陥 世界初の超高分解能10 nm ノード 1 ノードの形成⇒ k ↑∝ c L3 より堅い試料の評価 (c) たわみ2次共振 （金属間化合物・高強度セラミクス） ２ 共振周波数追尾型UAFM 電圧制御発振回路VCO （voltage controlled oscillator ）を用い， カンチレバー振動の位相が一定になるようにVCOの発振周波数 を制御して，カンチレバーを常に共振周波数で振動させる。さらに， 共振時の振幅はＱ値と比例する関係が近似的に成り立つので， 共振時の振幅からＱ値像を得る。この装置では，凹凸，共振周波 数およびＱ値の総合的比較を1回の映像走査で行える。共振の追 尾は高い信号対雑音（S／N）比が必要である。しかしS／Nの向 上のため大振幅で振動させると、探針が試料から離れ定量計測 ができなくなるので注意が必要である。 Frequency Resonance Error amplifier demodulator frequency image V ref Amplitude V detector Q factor image E Phase BPF LPF