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第３９卷 第３期 发 光 学 报 Ｖｏｌ３９ Ｎｏ３
２０１８年３月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ Ｍａｒ. ꎬ２０１８
文章编号:１０００￣７０３２(２０１８)０３￣０３８３￣０５
金属氧化物 ＴＦＴ阈值对 ＬＣＤ显示屏可靠性的影响
１ ２ １ １ １
楼均辉 ꎬ姜 姝 ꎬ吴天一 ꎬ符鞠建 ꎬ夏兴达 ꎬ
１ １ １ ２ ∗
何泽尚 ꎬ迟 宵 ꎬ应 变 ꎬ李喜峰
(１. 天马微电子集团ꎬ上海 ２０１２０５ꎻ ２. 上海大学 新型显示技术及应用集成教育部重点实验室ꎬ上海 ２０００７２)
摘要:ＴＦＴ的器件特性是影响氧化物ＴＦＴ驱动的ＬＣＤ显示屏良率的关键因素ꎮ 本文研究了氧化物ＴＦＴ 的关键特
性参数 (阈值ꎬ稳定性)对窄边框ＬＣＤ显示屏的良率和可靠性的影响ꎮ 氧化物ＴＦＴ 阈值过负ꎬ将会导致ＴＦＴ无法正
常关断ꎬ而使显示屏的外围移位寄存器(ＶＳＲ)电路失效ꎮ 另外ꎬ在显示区域用于像素驱动的氧化物ＴＦＴ的高温和背
光照射下阈值持续负向漂移ꎬ最终会导致显示区域的驱动ＴＦＴ漏电流过大ꎬ从而使显示屏出现串扰和残影不良ꎮ
关 键 词:金属氧化物薄膜晶体管ꎻ阈值ꎻＬＣＤꎻ可靠性
＋
中图分类号:ＴＮ３２１ .５ 文献标识码:Ａ ＤＯＩ:１０.３７８８/ ｆｇｘ０３８３
Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ￣ｖｏｌｔａｇｅ ｏｆ Ｏｘｉｄｅ￣ＴＦＴ ｏｎ Ｔｈｅ Ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ＬＣＤ Ｄｉｓｐｌａｙ
１ ２ １ １ １
ＬＯＵＪｕｎ￣ｈｕｉ ꎬＪＩＡＮＧ Ｓｈｕ ꎬＷＵ Ｔｉａｎ￣ｙｉ ꎬＦＵＪｕ￣ｊｉａｎ ꎬＸＩＡ Ｘｉｎｇ￣ｄａ ꎬ
１ １ １ ２∗
ＨＥ Ｚｅ￣ｓｈａｎｇ ꎬＣＨＩ Ｘｉａｏ ꎬＹＩＮＧ Ｂｉａｎ ꎬＬｉ Ｘｉ￣ｆｅｎｇ
(１. ＴｉａｎｍａＭｉｃｒｏ￣ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ＧｒｏｕｐꎬＳｈａｎｇｈａｉ２０１２０５ꎬＣｈｉｎａꎻ
２. Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｄｉｓｐｌａｙ ａｎｄ ＳｙｓｔｅｍＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ ＥｄｕｃａｔｉｏｎꎬＳｈａｎｇｈａｉ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＳｈａｎｇｈａｉ２０００７２ꎬＣｈｉｎａ)
∗Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ＡｕｔｈｏｒꎬＥ￣ｍａｉｌ:ｌｉｘｉｆｅｎｇ＠ｓｈｕ.ｅｄｕ.ｃｎ
Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ｔｈｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ＴＦＴ ａｒｅ ｃｒｉｔｉｃａｌ ｔｏ ｔｈｅ ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ￣ＴＦＴ ｄｒｉｖｅｄ ＬＣＤ.
Ｔｈｅ ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ Ｖ ａｎｄ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ｏｘｉｄｅ￣ＴＦＴ ｔｏ ｔｈｅ ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ｎａｒｒｏｗ￣ｂｅｚｅｌ ＬＣＤ ｄｉｓｐｌａｙ ｗｅｒｅ ｒｅ￣
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