4金属薄膜电阻率的测量..docVIP

5 金属薄膜电阻率的测量 一． 实验目的 熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。 了解影响电阻率的测量的各种因素及改进措施。 二． 实验仪器 RTS-5 型双电测四探针测试仪 三． 实验原理 双电测组合四探针法采用了以下二种组合的测量模式（见图 1） 将直线四探针垂直压在被测样品表面上分别进行 I14V23 和 I13V24 组合测量，测量过程如下： 进行I14V23组合测量： 电流Ｉ从１针→４针，从２、３针测得电压 V23+； 电流换向，Ｉ从４针→１针，从２、３针测得电压 V23-； 计算正反向测量平均值： V23＝(V23+＋V23-)／2； 进行I13V24组合测量： 电流Ｉ从１针→３针，从２、４针测得电压 V24+； 电流换向，Ｉ从３针→１针，从２、４针测得电压V24-； 计算正反向测量平均值： V24＝(V24+＋V24-)／2； 计算（ V23／V24）值； （以上 V23、V24均以 mV 为单位） 按以下两公式计算几何修正因子Ｋ： 若1.18＜（ V23／V24）≤ 1.38 时； K＝－14.696＋25.173(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；, (1) 若1.10≤ （ V23／V24）≤ 1.18 时； K＝－15.85＋26.15(V23／V24)－7.872(V23／V24)2；, (2) 计算方块电阻 R□：