激光束远场参数高精度测量技术研究-光学专业论文.docx

万方数据 万方数据 Rearch on The High-Precision Measuring Technology for The Laser Beam’s Far-Field Parameters A DoctoralDissertationSubmitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Optics Author: Pang Miao Supervisor: Prof. Rong Jian School: School of Physical Electronics 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘要 摘 要 激光束经过大气传输后，其远场参数的高精度测量对于准确评估激光大气传 输特性和激光系统的综合性能具有重要作用。本文以大尺寸激光束参数高精度测 量技术为研究内容，全面分析了激光束远场参数测量的影响因素，获得了远场参 数高精度测量对测量设备的技术要求。基于对漫透射光分布特性的研究提出了激 光束漫透射空间取样方法，设计了漫透射取样靶面，研究了取样靶面与光电二极 管阵列或成像器件构成阵列探测器技术，研制了相应的测量设备并获得了高精度 测量结果。 研究了激光束远场参数高精度测量对测量设备的技术要求。从激光束强度分 布测量方法出发，分析了经空间取样后的激光强度时空分布测量不确定度及其来 源。从激光束空间取样出发，通过理论计算或数值模拟分析了激光束远场参数测 量对测量设备的探测口径、动态范围、空间分辨力以及空间占空比的要求；从测 量过程和数学表达式出发，分析了取样光斑参数的测量不确定度。根据上述结果， 获得了激光束远场参数高精度测量的技术要求。 根据高精度测量要求，基于对漫透射光分布特性的研究提出漫透射空间取样 方法，设计了漫透射取样靶面，实现了对激光束高分辨力和高占空比空间取样， 在大角度范围内（±30°）取样激光功率基本保持不变。采用光学追迹法研究了漫 透射材料的角度响应特性，获得了漫透射光分布与入射光角度无关的结论，据此 提出了漫透射取样方法。对取样材料散射特性进行了实验研究。对常用取样单元 结构的角度响应特性进行了理论分析和数值模拟，获得了取样孔结构及其表面特 性的最佳组合方式。分析了取样靶面的角度响应特性，获得了最大功率取样误差 与激光入射角度、分辨力以及占空比关系的数学表达式。 研究了漫透射取样靶面与光电二极管阵列构成高精度强激光阵列探测器技 术。1）取样强激光衰减技术研究。提出了取样光衰减单元结构，推导了衰减倍率 计算公式，分析了取样单元内光斑强度分布以及衰减器侧壁反射光对光电探测器 接收光强的影响，对光强衰减倍率计算公式进行了实验验证。通过改变衰减器结 构参数或通过两级衰减组合可实现任意倍率的强激光衰减。2）抗强光损伤技术研 究。采用耐高温漫透射材料作为强激光取样材料。提出紫铜喷砂镀金技术对非取 样强激光进行高反射率漫反射，大大提高了相关设备的抗强光损伤能力；采用有 限元分析软件 Ansys 对取样靶面温度场分布进行模拟计算，为取样靶面的优化设 计提供依据。3）设计了探测单元响应系数（非一致性系数）和阵列探测器功率响 I 应系数校准方法并分析了它们的不确定度。4）研制了高能激光阵列探测器并获得 了高精度测量结果。阵列探测器空间分辨力 5mm（探测口径 Ф300mm），空间占空 比 20%，测量动态范围大于 104 倍，使用角度±30°（功率响应值变化 2.5%以内）， 探测单元响应面非均匀性（rms）1%以内，功率重复性误差约 1%，功率测量结果 与光学一级计量站测量结果误差 3.0%以内，最高测量能量密度大于 10kJ/cm2。 研究了漫透射取样靶面与 CCD 成像器件构成成像型阵列探测器技术。1）系 统集成技术研究，利用平面镜成像原理对测量组件进行集成。2）光斑几何形状畸 变校正技术