激光诱导材料靶上合成及其表面微结构的研究-光学专业论文.docx

Classified Index: 0434 U.D.C.: 539 Dissertation for the Doctoral Degree in Science MATERIAL SYNTHESIS AND MICROSTRUCTURE FORMATION ON TARGET INDUCED BY LASER IRRADIATION Candidate: An Weiwei Supervisor: Prof. Zhang Zhiguo Academic Degree Applied for: Doctor of Science Speciality: Optics Affiliation: Department of Physics Date of Defence: September, 2007 Degree-Conferring-Institution: Harbin Institute of Technology 摘 摘 要 - - I - 摘 要 随着科技与经济的发展，众多领域对材料性能的要求越来越高，急需新 型材料与功能微结构的开发与利用，因此探索制备新材料及功能微结构就显 得尤为重要。激光与物质相互作用在靶表面或内部产生热学和力学效应，可 以用于材料改性，合成新型材料和结构，加深对已知材料的深层理解。研究 激光与物质的相互作用对扩展激光应用领域，促进基础理论研究以及探寻合 成材料的新方法都具有重要意义。与通常脉冲激光烧蚀方法用于沉积薄膜和 微加工不同，本文提出利用脉冲激光烧蚀固体靶，研究靶上激光诱导合成材 料和表面微结构。本文以激光诱导材料靶上合成与表面微结构为研究对象， 在材料合成、激光参数对材料合成与微结构形成的影响进行了实验和理论研 究。 利用长脉冲微秒激光和短脉冲飞秒激光分别作用 2Al2O3+Tb4O7 固体 靶，研究不同脉冲宽度激光对合成的影响。研究结果表明利用微秒激光合成 出了 TbAlO3 化合物，并且合成产物中 Tb 离子的价态发生了变化，部分 Tb4+离子转变为 Tb3+离子；而利用飞秒激光辐照后，靶表面材料仍然是原材 料；在合成 TbAlO3 的过程中，长脉冲激光诱导的热效应起着关键作用；在 飞秒辐照中热效应可以忽略，激光诱导的反冲压强等动态条件无法使材料达 到相稳定，因而没有 TbAlO3 合成。同时利用非聚焦纳秒激光合成出了 EuFeO3，研究了激光辐照时间与合成产量的关系，结果表明激光辐照 60 s 后作用区域物质合成基本完成。以上实验结果验证了激光靶上合成物质的可 行性。 利用纳秒激光辐照放置在去离子水中的 4CeO2+Tb4O7 固体靶，研究了 脉冲激光强度对合成产物的影响。研究结果表明在靶表面合成了具有萤石结 构的 CeTbO3+δ 固溶体；激光强度不同会对合成物产量造成影响，随着激光 强度的增加，合成产量随之增加，当激光强度增加到本实验的最大值 1.8×1012 W/cm2 时，CeTbO3+δ 相对含量的增加曲线趋于平缓。因而我们认为 存在最优化激光参数使得合成产物的量达到最大。 利用飞秒激光在空气中辐照 4CeO2+Tb4O7 固体靶，研究了靶上物质合 成和微结构制备。研究结果表明，采用飞秒激光合成出了立方萤石结构的 CeTbO3+δ 固溶体，合成产物分布比较均匀；靶表面沉积一层纳米泡沫结构 （颗粒尺寸 10 nm）和球形颗粒（尺寸范围 20~300 nm），我们对微结构的 哈尔滨工业大学理学博士学位论文 哈尔滨工业大学理学博士学位论文 - - II - 形成机制进行了研究；该纳米泡沫有较大的比表面积和未成对悬挂键，使得 表面的吸附能力增强。 利用纳秒激光辐照单质材料碳和硅，研究激光制备纳米泡沫结构的条件 和机制。通过改变入射激光强度研究了表面微结构的形成以及与激光强度之 间的关系；分析认为是由于激光强度不同造成电离度、等离子体温度以及团 簇的改变，从而导致不同微结构的形成，而且纳米泡沫的形成需要高于一定 的激光阈值；激光辐照后碳靶表面呈现出深黑色，碳纳米泡沫属于无定形 碳，该微结构有利于提高材料的光学吸收系数，可以用于制备消光器件。分 析认为在适当的实验条件下可以在其他材料上获得类似纳米泡沫结构，激光 诱导纳米泡沫结构具有普遍性。 通过脉冲激光辐照固体靶的研究，证明了激光诱导靶上材料合成的可行 性，研究了不同激光参数对合成和微结构形成的影响，以及相关物理机制。 利用激光进行物质合成以及制备得到新颖的微结构，无论对基础研究还是应 用研究都具有重要价值。 关键词 脉冲激光；激光烧蚀；合成；微结构 Abs Abstract - - PAGE VII - Abstract With the development of science and economy, m