5扩散间注意事项.pptVIP

注意事项 生产注意事项 恒温箱注意事项 工艺卫生注意事项 违规作业 生产注意事项 1.按工艺要求调整原始硅片电阻率测量 电流。 2.测量方块电阻时按工艺要求校准电流。 3.按工艺要求精确测量方块电阻。 4.正常运行工艺时，舟不能自动进出。 应： 有可能是面板上的“急停”按纽处按 下去了。 限位开关未复位或损坏。 保险丝烧断，由设备换保险。 5.换POCL３时，由于误操作，将软管接反源倒流，应： 立即关闭小Ｎ2，把软管卸下， 用带有酒精的抹布擦拭。 联系工艺人员更换软管。 将Ｏ2打开至工艺标准。 正确装好再做鼓泡实验。 6．换源时搬运源瓶，阀门有液体滴下，应： 　　 立即将出气口开至最大，（进气口也必须开），使源瓶内部压力保持平衡。 如液面仍偏高，则可将源瓶微微倾斜，待源慢慢回流到瓶子里。 恒温箱注意事项 恒温箱界面 恒温箱采用水冷方式。扩散源温控制在20度±0.5度，使用时恒温箱中需加入一定量的水，并要注意液位的变化，过高会溢出造成电器的短路，过低会造成源温不受控，更换源瓶时需相应加水或抽水。此外，还应视水质状况进行定期换水。 工艺卫生注意事项 进入扩散间时必须穿洁净服、并穿戴一次性鞋套。 进入风淋门前要按要求穿戴好，双臂上举，旋转风淋30秒。 违规作业 严禁生产中出现此类行为 工序安全严禁作业 以下是更换源瓶时没有穿防护服! 禁止一只手拿两个盒子！ 工序6S严禁作业 禁止把扩散间与刻蚀间的门同时打开！ * 更换过源瓶后必须对源瓶软管进行检查，以防止软管老化，导致源外泄！ 以下是更换源瓶时没有戴好防毒面具穿防护服! 禁止用舟叉点击界面！ 禁止两个传递窗同时打开！ 禁止用手直接与石英舟接触！ 禁止不穿洁净鞋进入扩散间！ 禁止把柜子门打开！