基于MEMS线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪.pdfVIP

， ， ， 第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 ３４ ６ Ｖｏｌ．３４ Ｎｏ．６ １７１１-１７１５ ｐｐ 年 月 ， ２ ０ １ ４ ６ Ｓ ｅｃｔｒｏｓｃｏ ａｎｄ Ｓ ｅｃｔｒａｌ Ａｎａｌ ｓｉｓ Ｊｕｎｅ ２０１４ ｐ ｐｙ ｐ ｙ 基于MEMS线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪 * ， ， ， ， ， 高志帆 曾立波 石 磊 李 凯 杨远洲 吴琼水 ， 武汉大学电子信息学院 湖北 武汉 ４３００７９ 、 、 ， 摘 要 针对传统光谱测油仪存在的环境适应能力弱 分析速度慢 测量重复性差等问题 研制了一种便携 。 ， 式中红外水中油浓度速测仪 其核心光路采用典型的非对称折叠式 型 光学结构 有效缩 Ｍ Ｃｚｅｒｎ -Ｔｕｒｎｅｒ ｙ ； ， ， 小仪器体积 使用周期性转动的斩光器调制红外光源 并对斩光器转速进行数字ＰＩＤ控制 调制精度达到± ； ， ； ０．５％ 采用固定光栅作为分光元件 无需光栅扫描装置且不存在转动误差 利用新型 ＭＥＭＳ红外线传感器 ， 。 阵列探测调制后的光谱信号 显著提高光谱采集速度 光学仿真及实验结果表明仪器光谱范围为 ２ ８００～ ３ ２００ ｃｍ－１ ，光谱分辨率达到 ６ ｃｍ－１ （＠３ １３０ ｃｍ－１ ），信噪比达到５ ２００ ∶１，谱图采集速度为 １３ ｍｓ ·幅－１ ， －３ ， 。 ， 吸光度标准偏差优于 ３×１０ 满足了水中油测定国家标准要求 与已有红外光谱测油仪相比 该仪器小型 ， ， ， ， 便携 分析速度快 测量精度高 抗震防潮性