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第44卷第tO期 人 工 晶 体 学 报 V01．44No．10 利用硅片线锯屑合成氮氧化硅粉体研究 尹传强，李 兵，魏秀琴，周 浪 (南昌大学光伏研究院／材料科学与工程学院，南昌330031) 摘要：以回收提纯硅片线锯屑粉与气相白炭黑为原料，合成出晶须状氮氧化硅粉体。实验研究了原料摩尔配比、保 温温度、保温时间等工艺参数对氮氧化合成产物的影响。结果表明，回收提纯硅片线锯屑粉与气相白炭黑摩尔比 为2．O：l～2．6：l、保温温度为1380oC、保温时间为4h条件下可获得较为纯净的氮氧化硅粉体。产物中同时伴生 一种类似于01．SiAION结构的氮氧化硅低温亚稳相(LMsi：N：O)，且该亚稳相含量随着原料摩尔配比的降低、温度 的升高、时间的延长逐渐降低。所形成的氮氧化硅呈晶须状的原因与白炭黑的气化挥发及随后的氮氧化硅气相沉 积生长机制有关。 关键词：硅片线锯屑；白炭黑；氮氧化硅；低温亚稳相 中图法分类号：TQl74 文献标识码：A Silicon Oil of Powders StudySynthesis Oxynitride fromWireSawDustsofSilicon YIN Chuan—qiang，LIBing，WEIXiu—qin，ZHOU如愕 of ofMaterialsScienceand (InstitutePhotovohaics，School Engineering，NanchangUniversity，Nanchang330031，China) 7 13 (Received 2015) April2015，acceptedMay whisker‘likewere fromrecoveredwiresawdustsand Abstract：Silicon ox)uitride powderssynthesized fumedwhitecarbonblack．Theeffectsofmolar andtimeon were ratio，temperatureoxynitridation indetail．Theresultsshowthatthe silicon can obtained1 be at 380 investigated pure oxynitridepowders ℃，4handmolarratio metastable discovered 2．0：1-2．6：1．Low—temperaturephase(LMSi2N20)was andinferredinthe asimilar toOl—SIMON．Withthe oxynitridation，whichexhibiting crystalstru．cture molarratio andth