单晶炉工艺操作规范.doc

TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要) 页码： 共9页 取单晶作业 　 1 　 准备 　 作业内容 注意事项 1) 按规定穿好服装，戴好劳保手套 　 2）准备好有关工具和取晶栏 　 2 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 取出单晶 　 　 　 　 　 　 　 　 　 1）确认炉内恢复常压，打开副室小门 　 2）按下副室升按钮，升起副室炉筒 *一次升到位 3）把副室炉筒慢慢侧移，同时把接晶盘移到 *晶棒受到撞击会造成 单晶下方，稳住晶棒，避免使其受到撞击 籽晶或细颈断裂 4）把取晶栏放在晶棒正下方，移开接晶盘 *晶棒底下严禁站人 5）按下晶快降按钮，将晶棒降入取晶栏， 　 以籽晶基本不受力为准 　 6）按住细颈，用钳子将细颈掐断，使籽晶上 *重锤高速旋转会造成 保留足够长（尽量维持原长的细颈）.捉住 钢丝绳损伤 钢丝绳使重锤慢慢旋转，取消拧力后再放手 　 7）籽晶如需更换，把旧籽晶取下放入待清洗 *注意重锤温度很高 籽晶盒 　 8）重锤升入副室炉筒，升起炉盖移到侧面 　 9）准时送入检测区 *晶棒严禁磕碰 单晶炉拆炉作业 1 　 　 准备 　 作业内容 注意事项 1）按规定穿好服装，戴好口罩、手套 　 2）准备好拆炉工具等 　 2 　 　 　 　 取出石墨 件 1）放好不锈钢台车 　 2）戴好耐高温手套 　 3）用专用工具依次取出导流筒、保温大盖 　 4）取出的石墨件倒置放在台车上 *避免石墨件与金属直 3 　 　 　 　 取出埚底 料 1）放好不锈钢桶 　接接触 2）用钳子夹住石英埚上沿部分提起，放入不 *埚底料尽量保持完整 锈钢桶 　 3）戴好耐高温手套，把埚底料放入不锈钢桶 4 　 　 　 　 　 取出石墨 埚帮 1）戴好耐高温手套 　 2）把石墨埚一瓣瓣取出，碎渣倒入不锈钢桶 *碎渣避免掉入埚杆波纹　 3）取出埚托、埚杆，取埚杆时用专用工具拧 管内 掉不锈钢螺丝 　 4）取出的石墨件放在不锈钢台车上，转移到 　 规定区域，使其自然冷却 　 单晶炉清扫作业 1 　 准备 　 作业内容 注意事项 1、准备好工具和吸尘管 它氧化杂质。 2、戴好口罩 　 2 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 清扫管道 及过滤罐 　 　 1）打开抽气管道后盖，使管内自然冷却 　 2）慢慢打开真空球阀给过滤罐充气，充满后 　 关闭球阀 　 3) 拧下大罐盖螺丝，慢慢取下盖子，抽出过 *注意被大罐盖砸伤 滤网，用吸管将其吸净，并将罐内残留物 *粉尘为SiO2及其它　 吸净,然后装好过滤网 氧化杂质。 4）将过滤罐密封面和盖上的密封圈擦干净， *避免划伤密封面 将大罐盖螺丝上好 　 5）此时抽气管道内已冷却，用吸管吸净管道 *每炉必须清理 内附着物，用专用工具对炉底排气管道进 　 行疏通,残渣由吸尘器吸走，确认畅通 　 6）将管道后盖密封面和密封圈擦干净，用工 　 具将螺丝匀力上紧 　 3 　 　 　 　 　 　 　 　 炉盖清扫 　 　 　 　 1）用刷子和吸尘管清扫内壁上的附着物 *要全面、仔细 2）用沾酒精的纤维纸将炉盖内壁彻底擦一遍 *重点是焊缝、观察窗、 3）检查是否有打磨不净的部位，如有再次打 小副室翻板阀等部位 磨并用纤维纸擦拭干净 　 4）内壁有孔部位，用酒精纤维纸仔细擦内部 *检查密封圈有无损坏 5）用酒精纸整体擦拭炉盖内壁，确认无污物 出槽，翻板冷却水管有 6）将管道后盖密封面和密封圈擦干净， 无漏水现象 7）用专用盖子将小副室上口盖上，盖上翻板 注意检查预留堵头是否 阀，关闭副室小门 有漏水现象 4 　 　 石墨件清 扫 1）确认石墨件自然冷却完毕 　 2）戴好口罩手套，温度不高可用一次性手套 　 3) 检查石墨件有无老化、损坏，必要时更换 　 4）用刷子和吸尘管对石墨件进行清扫，然后 *有强力附着物时用研 用干纤维纸擦拭干净 磨布打磨，再吸净 5 　 　 　 　 　 　 炉内清扫 　 　 1）确认充分自然冷却，可以清扫 　 2）准备好吸尘罐和刷子 　 3）炉底和加热器用刷子和吸尘管吸净 *检查石墨件有无损坏 4）保温材料上部吸除干净 5）主炉筒与炉盖接合部位吸除干净 *清理干净波纹管内杂物， 6）检查加热器电极螺丝是否松动 防止螺丝丝口堵塞,卸不 7）确认炉底内排气口没有堵塞 下来.每炉清理要彻底 6 　 　 　 　 　 　 石墨件安 装 　 　 1）石墨件安装前用吸尘器再吸除一遍 　 2）用专用工具拧紧不锈钢螺丝，装好埚杆 *埚杆要拧紧，不要过紧， 3）装入埚托，与埚杆要完全接触 *埚托要放牢固、平稳 4）石墨埚依次装好，与埚托接触良好 *注意带垫片或弹簧垫 5）给定埚转，确认无异常 *检查坩埚